日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B

报价

¥300万 - 400万

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品牌

样本

暂无样本

型号

NSR 1755i7B

荣誉奖项

产地

亚洲

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

金牌
第5年
一般经销商

营业执照已审核

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核心参数

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产品详情

日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B

技术指标及功能

把掩膜版上的图形按照一定的比例缩小复制到涂布有光刻胶的晶圆上，分区域进行步进式曝光。本机台可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光，曝光精度可达500nm。

基本指标

1. RESOLUTION：0.5μm
2. LENS DISTORTION：≤0.9μm
3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm
5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期: 否

现场技术咨询: 无

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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