日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS _参数

核心参数

同类推荐

看了电子束曝光机的用户又看了

产品介绍售后服务承诺用户评论问商家

产品详情

日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS

· JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

· 最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统，通过全方位的设计优化，实现更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能。

8. JBX-8100FS.png

最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统，通过全方位的设计优化，实现更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能。

节省空间

标准的设备占地面积为4.9m（W）×3.7m（D）×2.6m（H），比以往机型占用空间更小，外形更加紧凑美观。

低功耗

正常工作时的功耗约为3kVA，仅需以往机型耗电量的1/3。

高产能

具备高分辨率和高速两种刻写模式，非常适用于超微细加工以及批量生产。该设备减少了刻写过程中的无谓耗时，并将扫描频率提升至业界最高最水准的125MHz (以往机型的1.25～2.5倍)，使其具备更高的生产能力。

机型

JBX-8100FS系列设有G1（基本版）和G2（全配版）两种机型。G1机型装机后也可进行升级，使其支持更高的应用需求。

新功能

安装光学显微镜（选配）后，在避免光刻胶感光的的同时可对材料上的图形进行确认。设备还配备了信号塔（标配），实现了视觉范围内的系统运行状况监控。

激光定位分辨率

采用分辨率为0.6nm的激光干涉仪，对样品台位置进行高精度的量测控制。

系统控制

配备了Linux®系统，图形用户界面使操作更加简单，便于初学者使用。数据准备程序支持Linux®和Windows®

主要技术指标

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期: 否

现场技术咨询: 无

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

用户评论

暂无评论

发评论

问商家

日本电子电子束刻蚀 JBX-8100FS 的工作原理介绍

电子束刻蚀 JBX-8100FS 的使用方法?

日本电子 JBX-8100FS 多少钱一台?

电子束刻蚀 JBX-8100FS 可以检测什么？

电子束刻蚀 JBX-8100FS 使用的注意事项？

日本电子 JBX-8100FS 的说明书有吗？

日本电子电子束刻蚀 JBX-8100FS 的操作规程有吗？

日本电子电子束刻蚀 JBX-8100FS 报价含票含运吗？

日本电子 JBX-8100FS 有现货吗？

日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS 信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS 报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

推荐分类同类仪器该厂商仪器相关厂商推荐品牌

手机版：日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS