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电致发光影像分析(Electroluminescence, EL)
光谱解析光致电流影像分析(Spectrally Resolved LBIC)
电致发光影像分析(Electroluminescence, EL)
检测功能: 大小裂痕(large and microcracks)、缺损(holes)、杂质(inclusion)、扩散深度(diffusion length)及接触或传导不良区域
适用样品: 单晶硅电池芯片、多晶硅太阳能芯片及薄膜太阳能芯片
样品大小: 5吋及6吋太阳能电池芯片或模块
解 析 度: 最高可达300*300um(需视选用规格而定)
电源供应: 依照样品规格选用, 有8V-20A、6.7V-30A及20V-50A可供挑选
光谱解析光致电流影像分析(Spectrally Resolved LBIC)
检测功能: 缺损(holes)、杂质(inclusion)、扩散深度(diffusion length)及接触或传导不良区域
适用样品: 单晶硅电池芯片、多晶硅太阳能芯片
激发波长: 650-980nm Laser diode
解 析 度: 10um
瞬态光电流(TPC)/瞬态光电压(TPV)测量系统
HAMAMATSU 日本滨松EMMI/OBIRCH微光显微镜PHEMOS系列
CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
Thermofisher ELITE
光学表面缺陷分析仪
北京正通远恒科技有限公司
德国UniTemp 回流焊炉RSS-160,RSS-210
上海麦科威半导体技术有限公司
Laser Annealing,激光快速退火炉
南通宏腾微电子技术有限公司
DAGE X-Ray
北京锐峰先科技术有限公司
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