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住友重工利用等离子技术研制出了新的离子镀方法。 这种离子镀方法,可以在大面积上获得均一的膜, 这是以往的成膜法无法实现的技术。 目前,住友重工正在关注平板显示器的透明导电膜(ITO)的成膜技术,正在研发能替代以往的溅射装置的商用生产机械。 作为成膜材料,除了这个透明导电膜(ITO), Si、Mg、C、Ti、Cr等金属,乃至这些的氧化物、 氮化物及炭化物等的合金的成膜均有可能, 我们将积极地策划技术的应用开展。
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