¥10万 - 30万
Sonoscan
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Sonoscan AW
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美洲
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Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜
AW系列产品是为晶圆检测而设计全自动系统。高灵敏度和高产能的优势可用于多种键合的晶圆的评估，如SOI，MEMS，LED，2.5D和3D。该AW系列可以检测两晶圆间空隙直径只有5微米以及晶圆分层薄至200埃的间隙。具有两个或更多的扫描头，分段站和干燥站时，AW被设计为有效地扫描晶圆并同时进行干燥。
AW 系列-AW200 & AW300
精选特色：
与SECS-II/GEM/SEMI300毫米标准兼容
非浸水瀑布式探头
先进的图像分析软件
高精度机器手可以提高产能
用于FOUPs,SMIF Pod,FOSB及开放式晶圆盒的BOLTS标准装载接口
自供水及真空组件的选项
保修期: 免费保修一年，保外提供收费服务
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 保修期内免费提供培训，保修期外提供收费培训服务
免费仪器保养: 保修期内提供免费上门提供保养，保修期外提供收费上门保养
保内维修承诺: 免费保修
报修承诺: 24小时服务
