MicroXAM-800 光学轮廓仪
MicroXAM-800 光学轮廓仪

¥100万 - 200万

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KLA

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MicroXAM-800

--

美洲

  • 银牌
  • 第15年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品种类: 非接触式轮廓仪/粗糙度仪

产地类别: 进口

  针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

·        SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入

·        Z-stitching干涉技术采集模式,可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面

·        XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

·        使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建,实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

·        利用已知最佳技术,从其他探针和光学轮廓仪转移算法


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主要应用

·        台阶高度:纳米级到毫米级的3D台阶高度

·        纹理:3D粗糙度和波纹度

·        形式:3D翘曲和形状

·        边缘滚降:3D边缘轮廓测量 

·        缺陷复检:3D缺陷表面形貌


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工业应用

·        大学、研究实验室和研究所

·        半导体和化合物半导体

·        LED发光二极管

·        电力设备

·        MEMS微电子机械系统

·        数据存储

·        医疗设备

·        精密表面

·        汽车

·        还有更多:请与我们联系以满足您的要求


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售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 3人次现场培训

免费仪器保养: 用户使用半年后,将安排一次应用培训以使用户达到熟练使用设备程度

保内维修承诺: 设备保修期内不收取零部件及其它费用,实行保修服务。并提供设备终身售后服务

报修承诺: 接到用户通知后,2小时内做出响应,24小时内给出明确解决方案

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