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PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为精湛的刻蚀效果提供了智能解决方案,使您在行业中能保持竞争优势。
高效的刻蚀速率
低购置成本
专为腐蚀性的化学成分而设计
出色的刻蚀均匀性
适用于蓝宝石的静电压盘技术
蓝宝石和硅上的GaN
高导通抽气系统
可与其它PlasmaPro系统集成
设备特点:
主动冷却电极 - 在刻蚀过程中保持样品温度
高功率ICP源 - 产生高密度等离子体
可靠的硬件且易于维护 - 可保持长时间正常运转
磁场垫环 - 增强离子的控制和均匀性
静电压盘技术 - 适用于蓝宝石,以及蓝宝石和硅基的GaN
加热的腔室内衬 - 优化以减少腔壁沉积
先进的自动匹配单元(AMU) - 提供快速,高效和准确的匹配,确保工艺的高度准确重复性
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro 100 Polaris的工作原理介绍
其他半导体检测仪PlasmaPro 100 Polaris的使用方法?
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