为您推荐相似的其他
PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻(DSiE)领域的全方位的灵活性以满足微电子机械系统(MEMS)、 先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了工艺灵活性。
光滑侧壁工艺
高刻蚀速率腔刻蚀
高深宽比工艺
锥形通孔刻蚀
广泛的应用领域
机械或静电压盘
加热内衬
改善重复性
延长了两次清洗间的平均时间间隔(MTBC)
PlasmaPro 100 Estrelas平台旨在确保覆盖MEMS,先进封装和纳米技术的广泛应用,从光滑侧壁工艺到高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀,不需要更换腔室硬件就可以实现。
硬件设计使同一腔室中可进行Bosch™和超低温刻蚀工艺,使得纳米和微米结构刻蚀均可实现
兼容50mm至200mm的衬底 - 确保您只需一台系统,便具备从研发器件到量产的能力
自动匹配 - 拥有工艺灵活性
更高流量的质量流量计以及等离子发生器 - 自由基密度更高
减小的腔体尺寸和高效率的泵 - 确保气体高速流通
快速近距离耦合质量流量计 - 快速控制(初始为ALD而开发)
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro100 Estrelas的工作原理介绍
其他半导体检测仪PlasmaPro100 Estrelas的使用方法?
牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas多少钱一台?
其他半导体检测仪PlasmaPro100 Estrelas可以检测什么?
其他半导体检测仪PlasmaPro100 Estrelas使用的注意事项?
牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas的说明书有吗?
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro100 Estrelas的操作规程有吗?
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro100 Estrelas报价含票含运吗?
牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas有现货吗?
HAMAMATSU 日本滨松EMMI/OBIRCH微光显微镜PHEMOS系列
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
瞬态光电流(TPC)/瞬态光电压(TPV)测量系统
MPP iBond5000引线焊线机|引线键合机
美国SD PIND颗粒碰撞噪声检测仪
Innolume 一体化连续半导体激光二极管驱动器 14pin 2A
筱晓(上海)光子技术有限公司
iSPRAY-300半自动喷胶机
安徽西南仪器科技有限公司
WD4000半导体晶圆粗糙度表面形貌测量设备
深圳市中图仪器股份有限公司
Sinton Instruments+BCT400+少子寿命测试仪
瞬渺科技(香港)有限公司
最多添加5台