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技术性能指标:
1 电子光学:
1.1 发射源:钨灯丝(高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪)
1.2 固定式物镜光阑,无需手动调整使用方便
1.3 加速电压:200V – 30kV,自动256级偏压设计
1.4 放大倍数:6× - 1000000×
1.5 极靴内有一路单独抽真空系统,保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染,延长灯丝寿命
1.6 电子束束流:可达到的数值不小于2μA,并连续可调
1.7 使用工厂预对中灯丝更换方便
2 真空系统
2.1 1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵
2.2 高真空模式:<1×10-5 Pa
2.3 低真空模式:10 – 130 Pa
2.4 环境真空模式:10 – 2600 Pa
2.5 高真空模式下的换样时间:≤150秒
2.6 低真空及环境真空模式下的换样时间:≤270秒
3 分辨率
3.1 高真空模式下的分辨率
3.1.1 30 kV下3.0 nm (二次电子)
3.1.2 30 kV下4.0 nm (背散射电子)
3.1.3 3 kV下8.0 nm (二次电子)
3.2 环境真空模式下的分辨率(以英文官方样本公布的参数为准,并作为验收指标)
3.2.1 30 kV下3.0 nm (二次电子)
3.2.2 具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头
4 样品室
4.1 样品室内径:不小于340 mm
4.2 分析工作距离:10 mm
4.3 样品室红外CCD相机:1个
4.4 最多可升级8个探测器或附件接口
5 样品台
5.1 类型:五轴马达台,全对中,同时保留五轴手动功能
5.2 行程:X≥110 mm,Y≥110 mm,(X/Y重复精度2μm)Z≥65 mm,旋转R=n×360o,倾斜T=-15o/+90o
5.3 样品尺寸:可沿 X、 Y 轴完全旋转时直径≥122 mm,最大样品高度≥85mm
6 图像处理及系统控制
6.1 极高的6144×4096像素,可保存TIFF/BMP/JPEG格式
6.2 单窗口或四窗口图像显示, 四活动窗口智能扫描技术
6.3 实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合, 256 帧平均或积分, 数字动画记录 (.avi格式), 直方图及图像测量软件
6.4 SmartSCAN™ 智能扫描技术,蒙太奇图像导航,
7 节能措施
7.1 Energy Star认证的显示器和工作站
7.2 无需冷却水和空压机
8 软硬件配置系统
8.1 深圳市天禧仪器自定义软件系统
8.2 深圳市天禧仪器离子溅射仪
9 技术服务
9.1 提供该仪器的质量检验标准和验收方法
9.2 整机含第1年的免费保修服务,包含零配件和工时
9.3 安装调试与最终验收卖方应派专家到用户场地进行安装调试,对用户操作人员现场进行使用和维护培训,培训和安装的时间不少于2天,内容包括仪器的原理、使用、日常维护及现场操作。
日本电子 JEOL 钨灯丝扫描电子显微镜 JSM-IT210
Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜
国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
TESCAN MIRA 场发射扫描电镜
屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801
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