Heidelberg海德堡光刻机DWL66+
Heidelberg海德堡光刻机DWL66+

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德国海德堡

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DWL66+

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欧洲

  • 金牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数


德国海德堡Heidelberg激光直写光刻机DWL 66+

科研用激光直写系统
具有多种直写模块,实现不同精度直写需求
能于结构上进行灰度曝光

15. DWL 66+.png

DWL 66+激光光刻系统是具经济效益的高分辨率图像产生器,适用于小批量掩模板制作和直写需求。该系统的功能和灵活性使其成为Life Science, Advanced Packaging, MEMS, Micro-Optics, Semiconductor以及所有其他需要微结构应用的刻研工具。DWL 66+的客户群包括全球200多所顶尖大学和研究机构,许多系统功能是与这些机构合作开发,及先进技术不断改进以增加高分办率:DWL 66+的最小结构尺寸为300 nm,提供了极高的分辨率,优于或等于研发领域中强大的光学光刻系统。

基本的DWL 66+包含创造和分析微结构所需的所有功能。它可以用于掩模板制作或直写在任何涂有光刻胶的平坦材料上,多样化选择可提高灵活性,使系统适用于更多应用领域。





售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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德国海德堡光学平台DWL66+的工作原理介绍

光学平台DWL66+的使用方法?

德国海德堡DWL66+多少钱一台?

光学平台DWL66+可以检测什么?

光学平台DWL66+使用的注意事项?

德国海德堡DWL66+的说明书有吗?

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