Technoorg Linda 全自动离子束减薄系统

全自动离子束减薄系统

       用于TEM / XTEM样品制备     

 产品制造国

 匈牙利

 样品类别

 TEM / XTEM样品

  产品特色

  穿透减薄+表面清洁一机两用,快速自动样品交换系统

   产品参数

   ※离子枪

   聚焦高能量离子枪:～10 keV

   (或选配聚焦超高能量离子枪:～16 keV)

   聚焦低能量离子枪:100 eV～ 2 keV

   ※样品台

   电动样品台倾斜角度 0-40°

   计算机控制连续平面旋转360°，摇摆 ±10° 到 ±60°

   可装载样品厚度(30 - 200 μm)

   ※监测成像系统   

   高分辨率CMOS彩色相机，可视化监测减薄过程和自动结束，手动变焦50-400x放大倍数

   ※计算机控制系统

   内嵌式工业级计算机，直观式用户操作界面和图像分析模块

   完全自动控制离子发生源，自动样品置换

   可事先编程铣削参数用于自动制备，也可手动设定各种参数

   ※真空系统          

   薄膜泵及涡轮泵的普发真空系统，搭配Pirani/Penning真空计，达到无油式真空抽气系避免样品污

   染

   ※供气系统          

   99.999% 纯度氩气，电动针阀高精度控制工作气体流量

   特制压力调整泵，电子监控输出压力，通过电动针阀高精度控制气流

 应用实例