Diener Tetra100 等离子表面清洗/蚀刻机

Diener等离子表面处理设备                     

德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的优质产品，以保证性能技术稳定。

德国diener等离子表面处理设备特点：

• 等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

• 对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

•  等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

• 射频功率无极连续可调。

•  高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

• 特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

•  特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

• 设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备的应用范围：   

•     清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

•     清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

•         移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

•         清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

•         清洗半导体元件、印刷线路板。

•         清洗生物芯片、微流控芯片。

•         清洗沉积凝胶的基片。

•         高分子材料表面修饰。

•         牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

•         改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

•         煤、石棉灰化。

Diener Plasma  

低压/真空等离子表面处理/清洗/蚀刻机 Tetra100

主要技术参数：

基本配置：

• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同

• 腔室容积：根据具体版本，分为 80 - 100 升

• 供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位

气源

• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 圆形不锈钢件，配有铰链的门
  （约 ? 400 mm、长 625 mm）

• 矩形不锈钢件，配有铰链的门
  （约宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm）

装载件

• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层

• 具有气体喷淋的 RIE 电极

控制系统

• PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani

• Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

• 数字型

发生器

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。

上海尔迪仪器科技有限公司 中国总代理