定量电子束感生电流测试系统

定量电子束感生电流测试系统

The Quantitative EBIC System

简述

定量EBIC系统提供了测量和分析的许多功能。它包含一个EBIC测量电子部件，一个EBIC控制器，一个用于EBIC测试的特殊样品架，法兰和软件。EBIC控制器反馈电子束的扫描控制。从而可以在SEM图像上显示EBIC图像。

相应的软件提供了很多功能，如灰度分析，线扫描，单点测试，EBIC实时分析等等。

参数

EBIC测量系统，处理传入的EBIC信号以及将放大后将信号发送到成像系统。根据样品，最小的真实分辨率可以小于10 pA。有三个工作模式：1）EBIC；2）补偿高基本信号；3）束流测量（外部）。它包括一个电流源，用于补偿和归零。电压是±-10V。

EBIC控制器是用于定量EBIC测定的最重要的部分。它是一个功能强大的扫描发生器，其能够控制电子束从而使EBIC信号与电子束扫描吻合。它有4个模拟信号输入（SE，BSE，CL）和12位计数器输入。支持USB 2.0接口。

EBIC软件具备信号显示，TV扫描，线和点的测量，粗区域扫描，AVI录制，并同时记录SE-和EBIC图像等图像采集的标准功能。针对图像处理提供像半自动测量，电流等密度图和图像混合功能。该软件直接显示了EBIC电流在图像中的分布。所有的扫描参数，EBIC校准电流值等，都可以保存该文件（16位TIF图像文件）中。定量EBIC测量选项允许在EBIC测量电子时直接通过该软件对所有参数进行调整。该软件与Windows兼容2000 / XP/ Vista和Windows7（86，64）。

EBIC 样品台以及法兰

样品台上的样品是和显微镜的其余部分隔绝开的。这样可以使得EBIC测量独立于环境，实现噪声最小化。旁边的法拉第杯具有可变孔，可精确测量电子束电流。它还包含一个简单的手动针式夹持器，实现安全连接。接触针的运动可以用两个螺钉来调整。连接到样品的是双层屏蔽三轴电缆。带有气闸或者前置放大器的版本可选。法兰提供两个独立的电气接口。

这方面的工作的更多产品

探针模块（精度10纳米）

低温台（液氮或液氦），半导体加热/冷却模块

主要指标参数

Controller

EBICSpecimenHolder