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加热模块(300° C)
简述
如图所示, 加热台的表面是一块集成电路, 其可使用的样品最大尺寸是直径30毫米,可以通过SEM观察,温度范围从环境温度到300度,加热部件的最小化,是为了避免损坏仪器.
与其他加热平台不同的是,这个模块允许在空气中工作并达到工作最高温度。
可提供多种类型的样品夹持器, 通常是一些中间有凹坑或“巢”的结构。扁平的样品可以用细钨弹簧固定。并且设计了一些隔离措施以防止影响电场从而影响SEM图像。
具备真空法兰和电镜接口。.
扫描电镜样品台的附加模块
加热模块安装到扫描电镜样品台上像个大样平台一样。连接在一起时,整个模块随着样品室一起移动,并且它也可以倾斜一定的角度。
具备真空馈通。
加热模块
尺寸约100毫米×60毫米×30毫米。中央加热器件上有多层反射罩,同时保持最小的表面接触,以保持一个很低水平的热流进入样品台。
可选多种样品夹持器。
其他更多产品
更多加热模块工作温度范围:室温?500℃,800℃或1050℃。
集成在微操作台上的加热模块:300°,500°或800℃。
该操作台的探针精确定位10纳米的精度。
低温模块(液氮或氦气),或者半导体加热/冷却模块。
加热器
尺寸(LxWx H) | Appr.100x 60x 30mm3 |
重量 | Appr.0.5kg(1.1 lb) |
样品尺寸 | Upto 30mm? |
最高加热速率 | 3°C/s |
温度传感器 | PT100/NiCr-Ni |
加热范围 | RT -300°C |
加热稳定性 | >0,1°C(PT100)/1°C |
控制器
Dimensions | 295x 320x 125mm3 |
Weight | 7kg(15.4lb) |
InputVoltage | 115 V/230V/AC50-60Hz |
Powercons. | 250Wmax. |
HeatingVoltage | 0-30V/DC |
HeatingCurrent | 2.5A |
Interface | RS485 |
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