仪器简介:
德国徕卡(LEICA) 微分干涉显微镜适合2寸到12寸的样品。
徕卡显微镜独一无二的微分干涉效果,对LCD液晶 COG及FOG制程中ACF压合后的导电粒子破裂程度,偏位等状况进行细微观察,及时指导您对制程工艺(压合工艺参数)进行调整,确保产品质量及生产效率。
对外延片MOCVD等薄膜缺陷错位检查有很高的敏感度,对蓝宝石镶嵌、多晶、颗粒气泡等内部缺陷检查,蓝宝石腐蚀样品的腐蚀坑测试,成像及其清晰。
另外更可使用彩色滤光片 手机屏幕 FPD模组 半导体晶圆片 FPC PCB IC封装 光盘CD 图像传感器CCD CMOS PDA 等多种电子品种的微小缺陷检测。
技术参数:
• 智能型操作, 智能型照明,
• 恒定色温, 图像无颜色差别
• 反射光明场, 暗场, 偏光, 微分干涉, 荧光
• 透射光明场, 暗场, 微分干涉
• M32 六位物镜转换,手动或电动
• 专用平场消色差, 平场半复消色差暗场物镜, 平场复消色差暗场物镜,
• 可接显微硬度仪, 绘图仪, 宏观仪
• 可接微分干涉台阶仪进行高精度测量
• CCD或照相系统,
• 与多种显微图像分析软件共用
• 可升级为其他观察方法
• 无限远光路
DM12000M: 可用于12英寸(300MM)样品检测。可升级至UV光用于更高分辨率需要。
DM8000M: 可用于8英寸(200MM)样品检测。可升级至UV光用于更高分辨率需要。
DM6000M/DM4000M/DM2500M: 可用于6英寸(150MM)样品检测。