产地类别: 国产
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主要特点:
1. 大尺寸,配置大平台显微镜,实现超大尺寸工件的测量。可达500MM以上。
2. 电动Z轴数显,相比于常用的进口测量显微镜如STM6,MM60等大大降低了成本。
3. 操作简便,效率高,系统运行稳定,满足高强度的产线应用。
主要特点:
■适用显微镜:LEICA OLYMPUS NIKON等进口,国产大平台显微镜。
■高精度的高度测量
通过控制电动Z轴数显,能够实现直接进行大景深器件的高度测量,量测读数精度达到0.1um;测量过程简单方便,支持鼠标、键盘、脚踏开关取点测量;物镜切换能够自动聚焦,减少同一器件多点高度测量时的频繁手动调焦,提高工作效率;集成EFI功能,高倍下实现景深扩展,可随时保存大景深的清晰图像。
■多种方式结合扩大测量范围
大尺寸的载物台扩大了元器件的移动范围,满足更多位置的测量要求;系统集成专业的图像拼接功能,扩大显微镜的观察范围。并实现跨视域的测量。测量范围可达500MM。远远大于传统测量显微镜。
■丰富的2D专用测量工具
在3D测量方式外,还集成多种传统的2D测量工具,包含点坐标、两点间距、点线间距、卡尺间距、线线间距、圆、弧角、角度、矩形、圆心距、片间距、区域、平均亮度、线心间距等专用测量工具。
■强大的数据统计功能
自动计算已测量参数的标准统计数据:最大值、最小值、平均值、极差、方差、标准差、离散系数等;
■智能化的数据报告输出
实现“待测工件→测量参数→专用报告或EXCEL→品管统计”数据流自动化。
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