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德国徕卡(LEICA)在智能数字式金相显微镜DM4000M基础上提供了6英寸的移动平台,适合半导体行业对硅片检查的要求.智能化的操控与顶尖光学品质的结合为半导体行业提供高效率的工具.
• 智能型操作, 智能型照明,
• 恒定色温, 图像无颜色差别
• 反射光明场, 暗场, 偏光, 微分干涉, 荧光
• 透射光明场, 暗场, 微分干涉
• M32 六位物镜转换
• 专用平场消色差, 平场半复消色差暗场物镜, 平场复消色差暗场物镜,
• 可接显微硬度仪, 绘图仪, 宏观仪
• 可接微分干涉台阶仪进行高精度测量
• CCD或照相系统,
• 与多种显微图像分析软件共用
• 可升级为其他观察方法
• 无限远光路
1,智能型按键操作, 实现型照明,智能CICC技术使色温恒定, 图像无颜色差别,更可100%记忆并恢复已观察的条件
2,光强,光栏,反射光模块液晶显示屏,显示即时状态
3,手动调焦
4,6英寸硅片专用机械载物台,可配电动.
