薄膜厚度测量仪

仪器简介：

1996年以来，科美在半导体，平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析上，研发和提供了独特的，先进的解决方案。科美，作为测量和分析技术市场上的领头和动力，以它突出的表现得到了世界范围的认可。

技术参数：

活动范围 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option)
测量速度 1~2 sec./site
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
选项 Programmable Auto Z Stage
参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp

主要特点：

尺寸 500 x 610 x 640 mm
重量 45Kg
类型 手动的
测量样本大小 ≤ 8", 12"
测量方法 无连接的
测量原理 反射计
特点

测量迅速，操作简单
非接触式，非破坏方式
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