近日,青田恒韧智能科技有限公司(以下简称“青田恒韧”)完成了新一轮融资,由启迪之星投资,资金将用于半导体前道电子束量测设备CD-SEM的研发制造。
这已经不是青田恒韧第一次完成融资,在去年的8月份,青田恒韧就完成了Pre-A轮融资,由方富创投、明德投资共同投资。
据悉,电子束检测设备主要利用电子束扫描wafer表面并接收其散射信号,从而获取wafer表面信息的高精度检测设备;电子束检测设备在半导体领域,用于保证和提高半导体产线的良率。电子束检测设备本身面临着极高的技术门槛,研发难度极大,CD-SEM设备领域长期被Hitachi一家全球垄断。
青田恒韧成立于2022年,注册资本125万元,是一家半导体前道电子束量测CD-SEM设备研制商,致力研发并生产完全替代Hitachi CG5000的CD-SEM设备。
青田恒韧创始人赵博士表示:“高端的CD-SEM设备(20nm的沟槽量测)涉及到众多学科,以及众多学科之间的交叉影响问题,是个很复杂的工程化设备,极具挑战性。我们基于CD-SEM研究的底层物理关系显示,高端CD-SEM的难度,相比于低端CD-SEM(大于100nm的沟槽量测)的难度,完全是天壤之别;低端的CD-SEM设备,如果不能完成对标Hitachi的完整软件架构,设备的稳定性、准确性就谈不上,也就无法跨越向高端CD-SEM迈进的鸿沟。”
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
IWAPS 2024 | 第八届国际先进光刻技术研讨会日程公布
2024.09.29
2024.09.20
东方晶源深耕电子束量测检测核心技术 “三箭齐发”新一代EOS上“机”
2024.08.21
2024.08.18
2024.05.27
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~