晶圆或 LCD 和 TFT 的检验、过程控制和缺陷分析必须快速、精确并符合人体工学。LeicaDM8000M和 DM12000M晶圆检测显微镜提供了一个创新而高性价的系统解决方案,帮助客户充满信心地应对现在和未来的检验挑战。除了大视野和高分辨率光学部件,系统还采用了高度人性化的设计和全内置的 LED 照明,可以从不同角度照亮样品。
DM8000 M / DM12000 M 是一个模块化大型平台检测显微镜平台,可用于 8"/200 mm 和 12"/300 mm 样品检测。
手动检测版本
电动版本
DM8000 M/DM12000 M
01
进入检测领域的第一步
查看样品表面的更多信息,在更短的研究时间内改进产品质量决策。
宏观物镜(Plan APO 0.7x)4倍与常规扫描物镜的视野,用于快速浏览样品
紫外照明可获得更高分辨率,可与斜照明技术相结合,从任意角度以高分辨率查看样品,获得更多样品表面信息,且检验结果精确
符合人体工程学的设计和自动化功能可实现快速、低疲劳操作,避免在重复性样品检测过程中注意力不集中
通过手动、编码和电动功能支持智能工作流程,加快样品检测速度
02
快速样品详览
从用于快速浏览样本的微距物镜(Plan APO 0.7x)到用于观察最精细细节的微距物镜。
使用 25 mm (FOV) 目镜,可看到 35.7 毫米的样品表面
一目了然地看到在高倍放大镜下 "看不见 "的宏观缺陷,如材料样品中的曝光缺失区域、鲨鱼齿结构或流动结构
需要检测宏观结构时,无需对样品进行耗时的扫描
只需切换到更高倍率(Obj. HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD)即可看到最细微的细节
03
在更短时间内获得更多样品表面信息
紫外照明可获得更高分辨率,可与斜照明技术相结合,获得更多样品表面信息。
以高倍率(150 倍)的彩色模式,通过明场、暗场或DIC模式检查样品,以发现样品缺陷
通过激活紫外线照明来提高光学分辨率,以观察最精细的结构
以高分辨率将对比度较低的表面转化为清晰的结构拓扑图,快速发现缺陷
04
通过智能功能支持工作流程
通过手动、编码和电动功能支持智能工作流程,加快样品检测速度。
只需点击一下按钮,即可根据所选方法自动调整照明和对比度设置,从而节省时间并避免出错
集成的 LED 可见光和紫外照明可在几秒钟内切换不同的照明技术,保证污染不会进入无尘间保持,确保洁净室的清洁
内置聚焦探测器,用于检测高反射表面,可快速、轻松地找到正确的聚焦位置
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[来源:徕卡显微系统(上海)贸易有限公司]
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