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成立于2022年的华鑫微纳集成电路有限公司在安徽蚌埠正如火如荼的建设着8寸MEMS晶圆生产线，项目总投资高达50.6亿元，用于生产厂房、动力厂房、仓库等的建设，MEMS生产制造设备、公用设备等的采购，项目实施后将达到月产3万片晶圆的规模，在行业内颇具竞争力。
就在近日，中国仪器进出口集团有限公司就华鑫微纳仪器采购发布相关招标信息。截至目前不完全统计，此次采购仪器设备数量达88台/套，种类达49种，涉及多个工艺段的建设，有显影机、金属刻蚀机等工艺设备，也有如套壳检测仪、膜厚检测仪等检测仪器，具体详情如下：
| 序号 | 采购项目 | 数量 | 招标状态 | 截止时间 | 项目详情 |
| 0709-244035614017 | 蒸发台 | 3套 | 招标中 | 2024/5/30 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/07 | 匀喷一体机 | 1台 | 招标中 | 2024/6/3 10:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/01 | 匀胶机 | 2台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/06 | 原位掺杂多晶硅生长炉 | 1台 | 招标中 | 2024/6/3 10:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/02 | 有机去胶湿台 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/02 | 氧化清洗湿台 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/03 | 压膜机 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/05 | 线宽测试仪(非金属） | 3台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/06 | 线宽测试仪 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/01 | 显影机 | 2台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/04 | 外延层厚度检测仪 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 07009-244035614005 | 贴膜机 | 2台 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/04 | 套刻检测仪 | 2台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/04 | 探针台 | 5台 | 招标中 | 2024/6/3 10:00 | 详情 |
| 0709-244035614024 | 台阶仪 | 2套 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/01 | 四探针测试仪 | 3台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 4197-2440HXWN0001/01 | 刷片机 | 3台 | 招标中 | 2024/5/30 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/03 | 扫描电镜 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/05 | 缺陷检测仪 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/07 | 喷胶机 | 1台 | 招标中 | 2024/6/3 10:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/03 | 膜厚检测仪 | 2台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/02 | 硫酸去胶湿台 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0709-244035614023 | 离子束刻蚀机 | 1套 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/02 | 快速退火炉 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/06 | 颗粒度检测仪 | 5台 | 招标中 | 2024/6/7 10:00 | 详情 |
| 0709-244035614019 | 金属溅射机 | 3套 | 招标中 | 2024/5/30 9:30 | 详情 |
| 07009-244035614006 | 揭膜机 | 2台 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0709-244035614016 | 键合对准机 | 1套 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0709-244035614020 | 减薄机 | 2套 | 招标中 | 2024/5/29 9:30 | 详情 |
| 07009-244035614004 | 化学机械抛光系统 | 1台 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0709-244035614025 | 多靶溅射机 | 1套 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/06 | 低应力氮化硅生长炉 | 1台 | 招标中 | 2024/6/3 10:00 | 详情 |
| 07009-244035614003 | 大束流离子注入机 | 1台 | 招标中 | 2024/5/31 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/01 | 剥离机 | 1台 | 招标中 | 2024/6/3 10:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/02 | 标准清洗湿台 | 2台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0709-244035614009 | UV固胶机 | 1套 | 招标中 | 2024/5/30 9:30 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF28/05 | PECVD | 2台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF20/02 | BOE湿台 | 1台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 0664-2440SUMECF18/02 | AOI设备 | 4台 | 招标中 | 2024/5/27 9:00 | 详情 |
| 07009-244035614007 | 氧化硅、氮化硅刻蚀机 | 3套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614015 | 外延生长系统 | 2套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614022 | 立式氧化炉 | 2套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614022 | 立式退火炉 | 2套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614022 | 立式合金炉 | 1套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614008 | 金属刻蚀机 | 1套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614012 | 多晶硅、硅刻蚀机 | 1套 | 中标 | / | 详情 |
| 0709-244035614001 | 电镀系统设备 | 1套 | 中标 | / | 详情 |
| 07009-244035614011 | 等离子去胶机 | 5台 | 中标 | / | 详情 |
[来源：仪器信息网] 未经授权不得转载
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