渝企研发出Micro LED晶圆检测设备

12月19日，来自重庆中科摇橹船信息科技有限公司（以下简称摇橹船科技）的消息称：其研发的Micro LED晶圆检测设备，率先在国内打破制约Micro LED显示技术大规模商用的其中两大瓶颈。作为行业颠覆性创新成果，该设备的问世可加快Micro LED显示屏量产进程。

Micro LED被认为是颠覆产业的“终极显示技术”。但自2012年全球首块Micro LED显示屏问世以来，因巨量芯片精准转移难、坏点检测难等瓶颈，此项技术至今未能大规模商用。

据了解，生产Micro LED显示屏的过程中，需将小于50微米的数百万颗Micro LED芯片，从晶圆上依次精准转移到仅有几英寸甚至更小的驱动电路基板上进行排布。为确保每颗芯片都完好无缺，转移前需检测出有缺陷的芯片。

但是，对几英寸大小晶圆上的数百万颗芯片进行精准转移和检测，难度都极大。再加上其他因素影响，现已问世的Micro LED显示屏，像素良率较低，观感不佳，且成本居高不下，企业和消费者都不堪重负。

两年前，摇橹船科技携手国内某显示面板企业，利用机器视觉技术研发Micro LED晶圆检测设备，在算法开发方面遇到两道难关——针对Micro LED芯片的坏点检测，缺乏缺陷数据；以往业内通用的芯片转移的标定方法，不适用于Micro LED芯片。

研发团队采用异常检测算法，让无缺陷样本去找缺陷芯片，解决了缺陷数据不足的问题，同时，设计了全新的标定板，创新推出适用于Micro LED芯片转移定位的标定方法，最终于近期研发出上述设备。

经测试，在芯片检测环节，该设备对Micro LED芯片的漏检率小于0.01%；在芯片转移环节，其能够引导芯片转移装置将芯片转移精度控制在小于1微米的水平，由此一举解决制约Micro LED显示技术大规模商用的前述两大瓶颈。

据悉，目前在全球，还能做到这一点的只有以色列一家企业。