IWAPS 2023|​第七届国际先进光刻技术研讨会参会通知

第七届国际先进光刻技术研讨会

（IWAPS 2023）

近年来，集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业，尤其在中国，集成电路产业受到了前所未有的关注，并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势，国际先进光刻技术研讨会(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)应运而生。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台，参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果，探讨图形化解决方案，研讨即将面临的技术挑战。

自2017年以来，IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加，行业反响热烈，业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外，IWAPS自2020年起已被IEEE收录，接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。欢迎大家踊跃报名！

第七届IWAPS将于2023年10月25-26日于浙江丽水温德姆酒店举行（浙江省丽水市莲都区丽青路129号）,请于2023年10月24日报到。

欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导，积极报名, 参会名额有限，有意者请及时报名参会。

扫码进入邀请函报名：

或进入会议官网报名：https://www.iwaps.org/cn/index/10

会议组委会：

主办单位：

中国集成电路创新联盟

中国光学学会

承办单位：

中国科学院微电子研究所

丽水经济技术开发区管理委员会

协办单位：

浙江富浙资本管理有限公司

南京诚芯集成电路技术研究院

丽水龙江产业平台运营有限公司

IWAPS 2023 报告一览

往年会议及论文集

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding

IWAPS 2023 会议筹备工作已经展开，更多信息，敬请关注会议官网：www.iwaps.org/cn，以及“光刻人的世界”微信公众号

丽水特色半导体“万亩千亿”新产业平台

丽水经济技术开发区1993年设立，2014年升级为国家级经济技术开发区，是丽水浙西南中心城市“一脉三城”中的“智创新城”，是丽水市域发展的增长极、跨越式高质量发展的排头兵、产城融合发展的新高地、对外开放发展的桥头堡、改革创新发展的先行地。2019年，丽水市委市政府以超常规的举措推进平台“二次创业”，完成新一轮整合提升，总面积由原来的110平方公里扩大到217.24平方公里，改革后在商务部发布的国家级经开区综合考评排名中，从158位跃升至92位，历史性跨越前进了66位。

近年来，丽水经开区步入跨越式高质量发展的新阶段，已培育形成半导体全链条、精密制造、健康医药、时尚产业、数字经济等主导产业集群，丽水特色半导体产业平台成功入选省第四批“万亩千亿”新产业培育平台，落地全市首个百亿级重大产业项目丽水东旭高端光电半导体材料项目。先后获评中国经济营商环境十大创新示范区、省级“链长制”优秀单位和特色示范单位、省级产教融合示范区、省级绿色低碳园区、省级美丽园区、省级化工园区、省级节水标杆园区、全省“长三角一体化”发展先进集体等。经开区入选省级减污降碳协同试点、省级先进制造业和现代服务业融合发展试点等改革试点。经开区科技孵化园是全市首批国家级科技企业孵化器，杭州电子科技大学丽水研究院成为全市首家实体化研究院，同创特材超高纯钽项目实现全市“尖兵”项目破零，丽水方德智驱研究院是全市首家省级新型研发机构。省级及以上研发机构总数在全国218家国家级经开区中排名第20位。

2022年，丽水经开区坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，坚定厉行“丽水之干”，大力推进平台“二次创业”，奋力实施“两强两平台”战略，沉着有力应对疫情影响和风险挑战，以前所未有的力度和超常规的举措推进事业发展，各项工作取得新成绩。全年实现地区生产总值增长8.5%，连续9个季度全市第一；固定资产投资和工业投资分别增长28%和51.2%；规上工业总产值和规上工业增加值分别增长16.9%和13.4%；财政总收入和一般公共预算收入（剔除留抵退税因素）分别增长10.08%和19.9%；企业政策兑现增长15.3%；外贸出口额增长32.8%；R&D经费投入强度高达6.06%。

半导体全链条产业组链成群，出台半导体（集成电路）产业高质量发展政策，新培育超亿元企业4家，晶睿电子、珏芯微电子等投产企业全面发力，东旭光电、中欣晶圆等开工项目提前投产，广芯微电子、旺荣半导体、江苏联芯等新建项目加快建设，引进褚君浩院士工作站，先后与复旦、浙工大、杭电联合建立研究院，成立全国首家半导体工匠学院，产业链生态更加完善。精密制造产业逆势发展，滚动功能部件产业链成为全省8家“链长制优秀示范”之一，产值增长15%，首次主办汉诺威“投资中国展”和中德智能制造论坛，成立滚动功能部件产业学院，大力支持方正电机、中广电器、嘉利工业等龙头企业“二次创业”。健康医药产业乘势而上，抢抓新一轮医药产业发展新机遇，产值增长38.7%，华润三九众益实验室获得国家认证，维康药业获批国家知识产权示范企业，纳斯达克上市企业天境生物全国销售总部在经开区建成投用。时尚产业华丽转型，获评省级“链长制示范试点”，产值增长15%，产业创新服务综合体投入使用，检测中心获得国家资质认定，举办首届全国时尚合成革创新创意设计大赛，开设全市首家产业创新人才班。数字经济蓬勃发展，丽水水街基金产业园累计落地类金融项目298个，基金总规模达394亿元，实现入库税收超11亿元。金赋水公司入选省级工业互联网平台，东岸科技获评博鳌企业论坛“2022年度金融科技行业最具投资价值企业”。建筑业方兴未艾，出台建筑业发展专项政策，新增建筑业企业11家，累计达到66家，其中总承包一级10家、二级16家、三级22家，建筑业产值增长37%。

下一步，丽水经开区将坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，认真贯彻党的二十大精神以及中央、省委、市委经济工作会议精神，坚持稳中求进工作总基调，全力推进实体经济得到新提升、创新驱动获得新突破、治理效能达到新水平、产城融合迈上新台阶、改革开放实现新跨越、共同富裕取得新进展，确保经济社会继续保持跨越式高质量发展，创成“万亩千亿”新产业平台、争创高能级战略平台，努力在新的赶考之路上作出更大贡献。