总预算3.5亿元！各高校11月发布的光刻设备采购意向盘点

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#高校仪器采购品类盘点

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分享： 2022/12/15 14:51:49

导读：本次采购共含45项相关采购意向，其中16项为电子束曝光机。其中大部分采购定于12月份。采购预算最高的是深紫外DUV光刻机，价值4200万元，其次为电子束曝光机，价值3000万元。

2022年9月13日，国务院常务会议决定对部分领域设备更新改造贷款阶段性财政贴息和加大社会服务业信贷支持，政策面向高校、职业院校、医院、中小微企业等九大领域的设备购置和更新改造。贷款总体规模预估为1.7万亿元。

2022年9月28日，财政部、发改委、人民银行、审计署、银保监会五部门联合下发《关于加快部分领域设备更新改造贷款财政贴息工作的通知》（财金〔2022〕99号），对2022年12月31日前新增的10个领域设备更新改造贷款贴息2.5个百分点，期限2年，额度2000亿元以上。因此今年第四季度内更新改造设备的贷款主体实际贷款成本不高于0.7%（加上此前中央财政贴息2.5个百分点）。

这两大重磅政策提供极低利息的贷款给消费端提前进行设备购置和更新改造，推动我国仪器市场迎来新一波仪器采购大潮。仪器信息网注意到，11月份以来，各大高校发布了众多半导体设备采购意向。仪器信息网特汇总统计了光刻设备相关的采购意向，含激光直写设备和电子束曝光机，总预算约3.5亿元。

11月发布的光刻设备相关的采购意向汇总

序号	项目名称	预算金额(万元)	采购单位	预计采购时间	意向原文
1	TX-深紫外光刻机(DUV)	4200	华中科技大学	Dec-22	意向原文
2	电子束光刻机	3000	清华大学	Dec-22	意向原文
3	3D电子束光刻设备	2800	武汉大学	Dec-22	意向原文
4	电子直写设备	2500	复旦大学	Dec-22	意向原文
5	电子直写设备	1800	复旦大学	Dec-22	意向原文
6	TX-电子束曝光（EBL）	1800	华中科技大学	Dec-22	意向原文
7	电子束曝光系统	1400	浙江大学	Dec-22	意向原文
8	集成电路学院电子束曝光机采购	1400	中山大学	Dec-22	意向原文
9	100kV电子束曝光机	1300	浙江大学	Dec-22	意向原文
10	电子束曝光系统	1280	上海交通大学	Dec-22	意向原文
11	100kV电子束曝光机	1150	浙江大学	Dec-22	意向原文
12	电子束扫描直写系统	910	南开大学	Dec-22	意向原文
13	高精度电子束曝光机	870	北京师范大学	Dec-22	意向原文
14	双光子灰度对准光刻机	690	天津大学	Dec-22	意向原文
15	高性能激光直写系统	650	上海交通大学	Dec-22	意向原文
16	TX-高精度无掩膜光刻机	500	华中科技大学	Dec-22	意向原文
17	激光直写光刻系统	500	山东大学	Jan-23	意向原文
18	TX-对准光刻与晶圆键合机	490	华中科技大学	Dec-22	意向原文
19	双光子三维光刻系统	480	复旦大学	Dec-22	意向原文
20	激光直写系统	420	南开大学	Dec-22	意向原文
21	电子束光刻系统	400	武汉大学	Dec-22	意向原文
22	激光直写光刻机	400	浙江大学	Dec-22	意向原文
23	激光直写设备	400	重庆大学	Dec-22	意向原文
24	高分辨掩膜光刻机采购	390	西南大学	Dec-22	意向原文
25	光刻机	360	吉林大学	Dec-22	意向原文
26	电子束曝光系统	350	大连理工大学	Nov-22	意向原文
27	光刻机	350	清华大学	Dec-22	意向原文
28	无掩膜曝光机	350	清华大学	Dec-22	意向原文
29	三维微打印光刻系统	340	上海交通大学	Dec-22	意向原文
30	接触式紫外光刻机	320	清华大学	Dec-22	意向原文
31	无掩膜光刻机	320	天津大学	Dec-22	意向原文
32	集成电路科学与工程学院8英寸高精度光刻机	284	北京航空航天大学	Dec-22	意向原文
33	超高精密微立体光刻加工系统	279	厦门大学	Dec-22	意向原文
34	掩模版对准光刻系统	270	上海交通大学	Dec-22	意向原文
35	光刻机	235	大连理工大学	Nov-22	意向原文
36	大连理工大学面投影微立体光刻技术微尺度3D打印机采购（贷款项目）	200	大连理工大学	Nov-22	意向原文
37	紫外掩膜光刻机系统	199	大连理工大学	Nov-22	意向原文
38	光刻机	199	清华大学	Dec-22	意向原文
39	台式微纳结构高速直写系统	180	华东师范大学	Nov-22	意向原文
40	规模化集成电路无掩膜激光直写系统	175	北京科技大学	Nov-22	意向原文
41	激光直写光刻机系统	175	大连理工大学	Nov-22	意向原文
42	电子束曝光机维保	160	中国科学院微电子研究所	Nov-22	意向原文
43	北京理工大学激光直写设备采购	145	北京理工大学	Dec-22	意向原文
44	高精度无掩模纳米光刻微加工系统	145	浙江大学	Dec-22	意向原文
45	中国科学院大学集成电路学院计算光刻软件采购项目	140	中国科学院大学	Nov-22	意向原文

本次采购共含45项相关采购意向，其中16项为电子束曝光机。其中大部分采购定于12月份。采购预算最高的是深紫外DUV光刻机，价值4200万元，其次为电子束曝光机，价值3000万元。

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