视频号
视频号
抖音号
抖音号
哔哩哔哩号
哔哩哔哩号
app
前沿资讯手机看

我要投稿

投稿请发送邮件至:weidy@instrument.com.cn

邮件标题请备注:投稿

联系电话:010-51654077-8129

阅读TA的文章
二维码

我要投稿

投稿请发送邮件至:weidy@instrument.com.cn

邮件标题请备注:投稿

联系电话:010-51654077-8129

暴雨、台风、洪灾来袭!电镜如何应对停电,你做对了吗?

分享到微信朋友圈

打开微信,点击底部的“发现”,

使用“扫一扫”即可将网页分享到朋友圈。

分享: 2021/07/23 21:27:15



场发射电镜如何应对停电


图片




知停电计划后,客户可提前关闭灯丝发射,将电镜转为待机模式,降低能耗,以延长离子泵工作时间,维持枪头真空。具体的操作如下:


01

尽可能提早结束工作,取出样品后持续抽真空,以尽可能保持样品仓(镜筒)较好的真空度;

01_v1.jpg



02

停电前,用supervisor账户登录:

02.JPG

打开菜单SEM-FEG HV Control:

 02-1.v2.jpg

点POWER OFF,等待大约10分钟,关闭灯丝发射:

02-2.JPG


03

点Standby使电镜进入休眠(四代机点右上角月亮图标,选POWER SAVE 模式)

03.JPG


04

退出软件,关闭电脑。



复供电后,应尽快恢复电镜工作,具体操作如下:


01

开电脑,用supervisor账户登录:

02.JPG

先点PUMP抽真空(四代机点右上角月亮图标,解除POWER SAVE 状态)

1-01.v2.jpg


02

等待镜筒真空降低,建议尽可能等到镜筒真空达到-4数量级后再继续下一步操作;

1-02.JPG


03

打开菜单SEM-Bake out面板:

1-03.jpg

检查离子泵工作状态,如果离子泵仍正常运行(曲线图中代表Gun IP 和 Column IP 的曲线都在,且持续稳定),可直接进入“步骤7”开启高压;

1-03-2.JPG


04

如离子泵已经停止运行,在Bake out 面板中点GVL OPEN,观察column (四代机即Chamber)真空度变化,如仍维持在-4数量级,可点ION PUMP ON开启离子泵,如真空变化较大,则等到真空重新降至-4数量级后再开启离子泵。

1-03.jpg

1-04-1.JPG


05

点ION PUMP ON后,电镜会尝试启动离子泵4次,如4次没有成功,可再点进行尝试。通常情况下,三代机第一次出现USE PRESS BOOST的询问时,可以点Yes,之后再尝试启动时都点No,四代机不会出现这个提示。


06

离子泵自动启动的顺序是先Column IP,后Gun IP, Gun IP启动后,耐心等待枪头真空降低,建议等降至8e-8Pa以下再开灯丝;

07

进入菜单SEM,点FEG HV Control,点Reset Unit(四代机是一个带箭头的圆圈图案),选Reset Unit重置高压单元后,点POWER ON(四代机是绿色按钮)开启灯丝发射;

1-07-1.jpg


1-07-2.JPG


08

等待,直至Extractor电压的Read back 和 Setpoint值(四代机是POWER ON TARGET)一样后,即可正常使用电镜。

1-08.JPG





特别注意



1、电镜关闭灯丝操作属于应急操作,有一定风险,对电镜不熟悉的用户请勿尝试,请勿频繁操作


2、关闭灯丝再重新开启后,灯丝发射电流需等待至少12小时恢复稳定,并且有可能需要重做镜筒对中或用户Preset。




[来源:泰思肯(中国)有限公司]

logo
泰思肯
网友评论  1
全部评论(1条)
用户头像
泉溪水2021-07-24 15:31:28
我们是“啪”就停电了。
0回复
为您推荐 精选资讯 最新资讯 厂商动态 新闻专题 更多推荐

版权与免责声明:

① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。

② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。

③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。

使用积分打赏TA的文章

到积分加油站,赚取更多积分

谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~

打赏失败了~

评论成功+4积分

评论成功,积分获取达到限制

收藏成功
取消收藏成功
点赞成功
取消点赞成功

投票成功~

投票失败了~