场发射电镜如何应对停电
得知停电计划后,客户可提前关闭灯丝发射,将电镜转为待机模式,降低能耗,以延长离子泵工作时间,维持枪头真空。具体的操作如下:
01
尽可能提早结束工作,取出样品后持续抽真空,以尽可能保持样品仓(镜筒)较好的真空度;
02
停电前,用supervisor账户登录:
▼
打开菜单SEM-FEG HV Control:
▼
点POWER OFF,等待大约10分钟,关闭灯丝发射:
03
点Standby使电镜进入休眠(四代机点右上角月亮图标,选POWER SAVE 模式)
04
退出软件,关闭电脑。
恢复供电后,应尽快恢复电镜工作,具体操作如下:
01
开电脑,用supervisor账户登录:
▼
先点PUMP抽真空(四代机点右上角月亮图标,解除POWER SAVE 状态)
02
等待镜筒真空降低,建议尽可能等到镜筒真空达到-4数量级后再继续下一步操作;
03
打开菜单SEM-Bake out面板:
▼
检查离子泵工作状态,如果离子泵仍正常运行(曲线图中代表Gun IP 和 Column IP 的曲线都在,且持续稳定),可直接进入“步骤7”开启高压;
04
如离子泵已经停止运行,在Bake out 面板中点GVL OPEN,观察column (四代机即Chamber)真空度变化,如仍维持在-4数量级,可点ION PUMP ON开启离子泵,如真空变化较大,则等到真空重新降至-4数量级后再开启离子泵。
▼
05
点ION PUMP ON后,电镜会尝试启动离子泵4次,如4次没有成功,可再点进行尝试。通常情况下,三代机第一次出现USE PRESS BOOST的询问时,可以点Yes,之后再尝试启动时都点No,四代机不会出现这个提示。
06
离子泵自动启动的顺序是先Column IP,后Gun IP, Gun IP启动后,耐心等待枪头真空降低,建议等降至8e-8Pa以下再开灯丝;
07
进入菜单SEM,点FEG HV Control,点Reset Unit(四代机是一个带箭头的圆圈图案),选Reset Unit重置高压单元后,点POWER ON(四代机是绿色按钮)开启灯丝发射;
▼
08
等待,直至Extractor电压的Read back 和 Setpoint值(四代机是POWER ON TARGET)一样后,即可正常使用电镜。
特别注意
1、电镜关闭灯丝操作属于应急操作,有一定风险,对电镜不熟悉的用户请勿尝试,请勿频繁操作
2、关闭灯丝再重新开启后,灯丝发射电流需等待至少12小时恢复稳定,并且有可能需要重做镜筒对中或用户Preset。
[来源:泰思肯(中国)有限公司]
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