嘉仪通发布快速退火炉 LRTP新品

快速退火炉LRTP-1200，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

快速退火炉应用案例

l快速热处理，快速退火，快速热氧化，快速热氮化

l离子注入/接触退火

lSiAu, SiAl, SiMo合金化

l太阳能电池片键合

l电阻烧结

l低介电材料热处理

l晶体化，致密化

l其他热工艺需求

 快速退火炉产品特点

l可测大尺寸样品  可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸（100mm）。

l快速控温与高真空  最高升温速率可达100℃/s，真空度最高可达到10Pa。

l程序设定与气路扩展   最多可创建和存储32个程序、8个PID设定，实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路（MFC），应用不同气氛环境（真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等）。

l全自动智能控制  采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。

l超高安全系数   采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。

快速退火炉技术参数

创新点：

1.产品控温精度极高：可达±0.5℃； 2.采用红外加热技术，最高升温速率达150℃/s； 3.全方位自动化，首次将真空及气路控制集成在软件中，一键操作方便快捷； 4.打破行业内高精退火炉的进口设备长期垄断的局面；

快速退火炉 LRTP