nanoart——电子显微镜捕捉的美丽瞬间

    通过电子显微镜可观察肉眼看不到的纳米世界，现已广泛应用于医学、生物、材料开发等领域。我们身处在美丽的自然环境中，生活和谐美满，而只有电子显微镜才能呈现的微观世界，更是魅力四射。“nanoart”是通过电子显微镜真实展现金属、矿物、生物等的微观形态美，并利用计算机软件的伪彩技术制作出的“艺术”影集。以下，将为您展示在日本显微镜学会自1993年主办的“显微摄影大赛”中，日立高新技术公司的优秀参赛与获奖作品。

2016年国立研究开发与日立高新共同作品

“铺满花纹的地毯”：非晶InSiO薄膜加热的同时，对其进行SEM的观察。350℃时通道效应引起结构发生变化，随着时间的推移，结晶区域不断扩大至全部结晶。在什么都没有的地方突然产生的结晶对比度。

拍摄条件与样品：InSiO薄膜

?  分析仪器：日立热场发射扫描电镜SU5000

?  检测信号：背散射电子

?  加速电压：15.0 kV

?  放大倍率：×10,000

©（株）日立高新技术公司 重藤训志
©国立研究开发法人 物质?材料研究机构 WPI-MANA  木津TAKIO、塚越一仁
©国立研究开发法人 物质?材料研究机构 WPI-MANA Foundry 生田目俊秀

2011年富士化学与日立高新共同作品

“宇宙飞船在未知行星着陆”：该样品表面和内部均有微孔空硅颗粒。将二氧化硅和氯化钠混合，且仅溶解氯化钠，制成立方体形状。微孔可捕获目标尺寸的物质，希望将来用于搬运物质的载体。

拍摄条件与样品：介孔硅纳米球

?  分析仪器：日立扫描电子显微镜SU8040

?  检测信号：背散射电子

?  加速电压：0.8 kV

?  放大倍率：×22,000

©（株）日立高新技术公司　设乐宗史、檀紫

©富士化学（株）　矶部弘

2000年日立计测工程、日立制作所、东北大学共同作品

“超能力外星人准备攻击的地球”：本样品是在Fe颗粒之上分别覆盖两层TiO2及SiO2而形成的高性能分层颗粒。在200kV的加速电压下，可观察到SEM图像的“月球”和STEM-FIB加工制成的薄膜断面像的“地球”。

拍摄条件与样品：分层颗粒（反射光干涉着色磁性颗粒）

?  分析仪器：日立场发射扫描透射电镜HD2000

?  加速电压：200kV

©日立计测工程技术公司　失口纪惠、黑田靖、上野武夫

©（株）日立制作所　计测器部　桥本隆仁
©东北大学　本部　中塚胜人、东北大学　田路和幸

2009年日立高新作品

“美丽的花束形貌”：合成沸石是广受关注的功能性材料之一，图为合成沸石在高分辨SEM下观察到的图像。该合成沸石主要用于催化工业原料合成。样品经过几次重叠而形成的花瓣形状，增加了样品表面积，从而使催化效果增强。

拍摄条件与样品：合成沸石

?  分析仪器：日立场发射扫描电镜SU8000

?  加速电压：2kV

©（株）日立高新制造＆服务公司　稻木由纪

©（株）日立高新技术公司　西村雅子、武藤笃、檀紫、坂上万里

2009年日立高新作品

“宇宙中漂浮的小行星”：对玻璃内的添加剂氧化铋颗粒进行树脂包埋处理，并以5nm步进连续进行FIB加工，以观察其SEM图像。对200张SEM图像进行三维重构，观察颗粒的立体分散状态。

拍摄条件与样品：氧化铋

?  分析仪器：聚焦离子束装置NB5000

?  加速电压：FIB 40 kV、SEM 5kV

©（株）日立高新技术公司　森川晃成、工藤美树、藤泽亚希子、今野充

1998年日立计测工程作品

“烟花，烂漫绽放”：这些“烟花”其实是在还原氧化膜过程中产生的膜间水蒸气，大小从3微米到数十微米不等。硅基板因气体反弹到膜中心，隐约可见。

拍摄条件与样品：

?  RuO2/Si基板

?  分析仪器：日立场发射扫描电镜S-4700

© 日立计测工程技术公司　渡边俊哉、中川美音、山田满彦

*: 参赛人公司为拍摄作品时所在公司。

*: 本作品为日本显微镜学会主办的“显微摄影大赛”的参赛作品。

*: 未经同意严禁转载“nanoart”上刊登的图片和文章。

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*: “nanoart®”是日立高新技术公司在日本的注册商标。

更多日立扫描电镜产品详情：

http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/Product-C7301-0-0-1.htm

关于日立高新技术公司：

   日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。