沈阳科仪首台国产12吋PECVD样机出厂测试

　　10月21日，“国家02重大科技专项首台国产12吋PECVD样机出厂仪式”在中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司子公司——沈阳拓荆科技有限公司举行，沈阳市人大常委会主任赵长义、副市长王玲、杨亚洲，国家02重大专项专家组责任专家张卫，中芯国际资深经理康劲，以及辽宁省科技厅、发改委、外专局、沈阳市科技局、发改委、经信委、外专局、浑南新区的相关领导出席仪式。沈阳科仪、沈阳拓荆科技董事长雷震霖出席并致辞。

　　沈阳科仪于2007年引入半导体设备制造行业资深技术专家姜谦博士，并成立PECVD(等离子体增强化学气相沉积)事业部，以6吋PECVD国产化为切入点，攻关PECVD技术及装备。2008年，以沈阳科仪为项目责任单位的“90-65nm等离子体增强化学气相沉积设备研制与应用”项目被列为国家02重大科技专项首批启动的项目之一，也是目前为止辽宁省最大的02专项项目。为落实该项目《任务合同书》中明确的“改革机制体制，建立专业化企业进行产品与市场运作”任务，2010年4月，以原PECVD事业部为基础的“沈阳拓荆科技有限公司”注册成立，并开始独立运作、实施该项目。

　　目前，沈阳拓荆科技PECVD产品从4-6吋全自动已经拓展到8吋全自动、2-8吋手动、12吋全自动全系列，除应用在传统的集成电路制造领域外，还成功拓展到光波导制造领域。首台国产12吋PECVD样机已完成3000片工艺测试和10000片可靠性测试，各项指标已经达到设计要求，即将进入国内最大的芯片代工企业——中芯国际进行在线测试。

　　进入在线测试，是进一步完善样机的有效途径，是产品走向市场的必由之路。这不仅是拓荆公司发展的重要里程碑，也是辽沈地区乃至我国大半导体产业发展的重要见证。产品推向市场后，将改变我国相关高端设备依赖进口的局面;培养并带动产业链共同发展;对调整传统产业结构、创造新的经济增长点、推动大半导体产业发展具有重要的意义。