中科院微电子所过亿元仪器设备采购大单揭晓

分享到微信朋友圈

打开微信，点击底部的“发现”，

使用“扫一扫”即可将网页分享到朋友圈。

分享： 2010/11/18 16:28:42

　　自2010年1月20日起至2010年11月29日，中国科学院微电子研究所共发布十四批仪器设备采购项目招标公告，其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下：

包号	仪器设备名称	中标供应商名称	中标金额
第二批
第1包	等离子体喷涂实验系统	廊桥实业（香港）有限公司	$52.876万元
第三批
第1包	高分辨率场发射扫描电镜	天美（中国）科学仪器有限公司	$107.07万元
第六批
第1包	等离子体增强化学气相沉积系统	伯东企业（上海）有限公司	$19.7万元
第七批
第2包	涂胶显影机	沈阳芯源微电子设备有限公司	￥295万元
第4包	步进光刻机	上海微高精密机械工程有限公司	￥398万元
第5包	光学轮廓仪	维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司	$11.2万元
第6包	电子束蒸发台	爱韩华（无锡）电子有限公司	￥165万元
第8包	全自动清洗机	弘塑科技股份有限公司	$63万元
第9包	等离子去胶机	Mattson Technology Inc	$37.5万元
第八批
第1包	信号分析仪	安捷伦科技新加坡销售（私人）有限公司	$12.15万
第九批
第1包	超低能离子注入机	维利安精密仪器维修（上海）有限公司	199万$
第2包	金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机	Lam Research International Sarl	380万$
第3包	化学机械研磨机	汉民科技股份有限公司	168万$
第4包	单片清洗机、单片湿法腐蚀设备	Lam Research International Sarl	165万$
第5包	单片清洗机	盛美半导体设备（上海）有限公司	44万$
第十批
第1包	化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线	铨億机械股份有限公司	$50.5万元
第2包	半自动曝光机	上海欧托科国际贸易有限公司	$42.52万元
第3包	机械钻孔机	金富宝亚太有限公司	$13.80万元
第5包	真空压膜机	联策科技（股份）有限公司	$40.251万元
第6包	封装基板等离子清洗机	盈泰国际（集团）有限公司	$13万元
第7包	精密压机	博可机械（上海）有限公司	$14.58万元
第8包	化铜线、镀铜线	安美特（中国）化学有限公司上海青浦分公司	￥280万元
第十一批
第1包	半自动清洗机	北京七星华创电子股份有限公司	￥160万元
第2包	扩散炉系统	北京七星华创电子股份有限公司	￥405万元
第3包	多晶硅低压化学气相淀积系统	镭社有限公司	$45.05万元
第4包	膜厚仪	Spectramax International Limited	$31.80万元
第6包	多晶硅刻蚀机	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	￥1139.4942万元
第十二批
第1包	矢量信号发生器	微波技术有限公司	$133080元
第2包	高性能示波器	微波技术有限公司	$177000元
第3包	芯片自动测试捆绑套件	中科泛华测控技术有限公司	$17万元
第十三批
第1包	导电扫描探针显微镜系统	德国布鲁克AXS有限公司	$18.92万元
第十四批
第1包	基于ARM Core的原型验证开发平台	深圳市亿道电子技术有限公司	$30万元
第2包	宽带数字示波器	美国力科公司	$98249.7元
第3包	193nm激光器	Coherent Inc.	$15.3万元