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上海麦科威半导体技术有限公司

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当前位置：上海麦科威 > 光学薄膜测量设备 > 扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner

扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner

品牌：德国美克

产地：希腊

型号： FR-Scanner

报价：面议

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核心参数

产地类别：进口

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产品介绍

扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner

FR-Scanner是一款紧凑型台式工具，适用于通过对大型基材上的薄膜和涂层的反射率测量进行自动表征。FR-Scanner 是在厚度、折射率、均匀性、颜色等方面快速准确地映射薄膜的理想工具。真空吸盘上可以容纳任何直径/形状的晶片。

在 625 个点上扫描8 英寸硅晶片的典型时间不到 60 秒. 光学头采用独特的设计，可容纳光谱仪、混合光源和所有其他光学部件。在这种设计中，没有任何弯曲或移动的光纤，因此保证了在精度、再现性和长期稳定性方面的出色性能。此外，光源的特殊设计提供了超长的使用寿命 10000 小时。

FR-Monitor 软件，控制 FR-Scanner，执行数据采集和薄膜厚度光学常数计算。包含超过 350 种广泛使用的材料的数据库，用户可以轻松扩展。该系统出厂时已准备好进行测量，任何具有基本计算机技能但无需深入了解光学的人都可以轻松使用它。只需要的附加部件是运行 Windows 的 PC。该软件加载了适用于任何晶圆尺寸的大量扫描配置文件，而用户可以加载其自己的极坐标或笛卡尔坐标的配置文件。

FR-Scanner 扫描型光学膜厚仪主要由以下系统组成：

A) 光学光源装置

小型低功率混合式光源；

本系统混合了白炽灯和LED灯，最终形成光谱范围360nm-1100nm；该光源系统通过微处理控制，光源平均寿命逾10000小时；

集成小型光谱仪，光谱范围360-1020nm，分辨精度 3648像素CCD 和 16位 A/D 分辨精度；

集成式反射探针，6组透射光探针（200um），1组反射光探针，探针嵌入光源头，可修整位置，确保探针无弯曲操作；

光源功率：3W；

B) 超快扫描系统，平面坐标内，可进行625次测量/分钟 (8英寸 wafer) 或500次测量/分钟(300mm wafer). 全速扫描时，扫描仪的功率消耗不超过200W；

样品处理台：样品处理尺寸可达300mm. 可满足所有半导体工艺要求的晶圆尺寸。手动调节测量高度可达25mm；配有USB通讯接口，功率：100 - 230V 115W.

C) FR-Monitor膜厚测试软件系统

可精确计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度；

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用授权，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。

D) 参考样片

a) 经校准过的反射标准硅片；

b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片；

E) 附件

*可定制适用于半导体工艺的任何尺寸的晶圆片(2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 200mm, 300mm)

问商家

德国美克光学薄膜测量FR-Scanner的工作原理介绍

光学薄膜测量FR-Scanner的使用方法?

德国美克FR-Scanner多少钱一台?

光学薄膜测量FR-Scanner可以检测什么？

光学薄膜测量FR-Scanner使用的注意事项？

德国美克FR-Scanner的说明书有吗？

德国美克光学薄膜测量FR-Scanner的操作规程有吗？

德国美克光学薄膜测量FR-Scanner报价含票含运吗？

德国美克FR-Scanner有现货吗？

工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289

上海麦科威半导体技术有限公司为您提供德国美克扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner，德国美克FR-Scanner产地为希腊，属于进口光学薄膜测量设备，除了扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学薄膜测量设备,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。

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