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上海麦科威半导体技术有限公司

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当前位置： 上海麦科威 > 外延系统 > 脉冲电子束沉积系统 180 PED

脉冲电子束沉积系统 180 PED

品牌： Neocera
产地： 美国
型号： 180PED
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

衬底加热： 1200

本底真空度： 10-6

衬底尺寸： 2

靶： 4

基底旋转： 20

产品介绍

脉冲电子束沉积（Pulsed Electron Deposition）系统能发射高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um，使靶材快速蒸发形成等离子体。在靶材上的非平衡提取（烧灼）能使等离子体的组成与靶材的化学计量组成一致。在最佳条件下，靶材的化学计量与沉积薄膜可以保持一致。所有的固态材料如金属、半导体和绝缘体等都可以用PED 技术沉积各自的薄膜。


产品特点

* 独立的交钥匙脉冲电子束沉积系统PED
* 外延薄膜沉积，多层异质结构（heterostructures）与超晶格
* 氧化物薄膜沉积时氧气兼容
* 升级选项：离子辅助PED, 连续组份沉积PED, 进样系统load-lock
* 可附加的沉积源：脉冲激光与射频/ 直流溅射
* 集成XPS/ARPES UHV 集群系统，原位高真空基片传送系统


脉冲电子束沉积系统PED沉积的代表性材料示例
* 高温超导(HTS) YBCO( 和GdBCO) 薄膜
* 顺电(Ba-SrTiO3) 薄膜
* 金属氧化物(SrRuO3) 薄膜
* 隔热/ 音玻璃(SiO2) 膜和Al2O3 膜
* 聚四氟乙烯(PTFE) 薄膜


技术指标

真空腔18" 直径的球形腔体
8"CF 窗口
6.75"CF PED 源窗口
3 个6"CF 窗
额外的2.75" 与1.33"CF 窗口
PED源电子枪能量：8-20 keV
脉冲能量：最大能量800 mJ
最小能量100 mJ
工艺气体压强: 3-20 mTorr
工艺气体: 氧气，氮气，氩气
脉冲能量变化: ±10%
脉冲宽度: 100 ns
最大重复率: 10Hz at 15kV,5Hz at 20kV
最小束截面: 8 x10-2 cm2
最大能量密度 :1.3 x 108 W/cm2
Z 向对准范围: 50 mm
XY 向对准范伟: +/- 20 mm
火花塞寿命 ~3x107 脉冲
基片加热器最大直径2"，最小10x10mm2
最高温度：850 ℃
基片旋转：1-30 RPM（360° 旋转）
基片加热器：兼容1 个大气压的氧压
加热器温度通过可编程的PID 控制
多靶材旋转台
6 个1" 的靶材或3 个2" 的靶材
靶材旋转：360° 连续旋转(1-20 RPM)
靶材栅格式扫描
独特的靶材栅格化烧蚀方案
靶材索引，镀多层薄膜
靶材高度可调
靶材挡板避免靶材间的交叉污染
提供连续组成扩展/ 组合PED 的能力
PED系统软件
Windows 7, LabVIEW 2013
控制基片加热台
控制靶材公转台
控制真空泵
控制质量流量计?
外部的PED 源触发器
可选的工艺自动化选项
真空泵干泵，涡轮分子泵
本底真空压强：标准配置8 x 10-8 Torr
涡轮分子泵转速由软件控制



售后服务
产品货期： 200天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
问商家

Neocera外延系统180PED的工作原理介绍

外延系统180PED的使用方法?

Neocera180PED多少钱一台?

外延系统180PED可以检测什么？

外延系统180PED使用的注意事项？

Neocera180PED的说明书有吗？

Neocera外延系统180PED的操作规程有吗？

Neocera外延系统180PED报价含票含运吗？

Neocera180PED有现货吗？

工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

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公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供Neocera脉冲电子束沉积系统 180 PED，Neocera180PED产地为美国，属于进口外延系统，除了脉冲电子束沉积系统 180 PED的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多外延系统,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海闵行区元江路5500号第1幢508室 联系人： Mango 邮编： 226400 联系电话： 400-860-5168转6289

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薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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