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上海麦科威半导体技术有限公司

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当前位置： 上海麦科威 > 等离子体刻蚀设备 > SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔

SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔

品牌： 德国SENTECH
产地： 德国
型号： sentech
报价： 面议
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核心参数

刻蚀原理： 等离子体刻蚀

产地类别： 进口

产品介绍

德国Sentech 集成多腔等离子刻蚀和沉积机

 

高产量

等离子蚀刻和沉积腔体可以与多达两个片盒站组合，用于到200 mm晶片的高产量工艺。

 

研发

三到六个端口传送腔室可用于集成ICP等离子刻蚀机、RIE刻蚀机、原子层沉积系统、PECVD和ICPECVD沉积设备，以满足研发的要求。样品可以通过预真空室和/或真空片盒站加载。

 

SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔体、传送腔室、预真空室或片盒站。传送腔室包括传送机械手臂，可适用于三至六个端口。可以使用多达两个片盒站来增加产量。传送腔室可以配备多种选择。

 

用于研发的SENTECH多腔系统通过图形用户界面控制软件操作。强大的控制软件可用于工业领域高产量的多腔系统。


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工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

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400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供德国SENTECHSENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔sentech，德国SENTECHsentech产地为德国，属于进口等离子体刻蚀设备，除了SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海闵行区元江路5500号第1幢508室 联系人： Mango 邮编： 226400 联系电话： 400-860-5168转6289

主营产品：

薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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