核心参数
仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 冷场发射
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 3nm,15nm
放大倍数: 14-1000000x
加速电压: 0.3-30kv
背散射电子图像分辨率: 4nm
最大样品尺寸: 6
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