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上海麦科威半导体技术有限公司

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日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS

品牌： 日本电子
产地： 日本
型号： JBX-9500FS
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

产品介绍


日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　

 

     

 

JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界最高水平的产出量和定位精度，最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。

 

产品规格：

电子枪

ZrO/W 肖特基型

描画方式

圆形束, 矢量扫描, 步进重复式

加速电压

100kV

样品尺寸 

样品尺寸 (可以安装): 最大300mmΦ的晶圆片, 最大6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。

最大场尺寸

1000μm×1000μm

样品台移动范围

260mmX240mm

样品台控制单元

0.15nm（λ/4096）

套刻精度

≦±11nm

场拼接精度

≦±10nm （场尺寸为1000μm×1000μm）

写场内位置精度

≦±9nm（场尺寸为1000μm×1000μm）

定位DAC

20位

扫描速度

最大 100MHz

 

产品特点：

· JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界最高水平的产出量和定位精度，最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。

 

· 此外，由于具有100MHz的最快扫描速度，场尺寸在1000μm×1000μm时的套刻精度达到±11nm、场拼接精度为±10nm、写场内位置精度达±9nm，是兼具世界最高水准产出率和位置精度的100kV圆形束光刻系统。

 

· 由于采用的位置偏转DAC为20位，扫描DAC为14位，能获得0.25nm的扫描步距，分辨率更高，描画数据增长1nm，可以更忠实地再现描画数据。

 

· 最快达到100ＭＨｚ的高速化扫描速度，保证了大电流描画时的扫描步距很短，因而能提高对精度要求极高的图形描画的产出量。

 

· 由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的最小定位单位及高分辨率，达到了世界最高水准的位置精度。

 

· 本公司独自的自动校正功能(自动补偿功能)，实现了可信赖的长时间稳定地描画。自动补偿可以根据时间（任意的）、场和图形进行分别设定，非常适合于周末及休假等无人值守等情况下的长时间描画。

 

· 该系统最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的光掩模版，适合于纳米压印、光子器件、通信设备等各种领域的研发及生产。采用材料卡匣传送系统（选配），最多可装载10个卡匣。

 

· 利用微间距控制程序（场尺寸微调程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光栅。


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日本电子有掩模光刻机JBX-9500FS的工作原理介绍

有掩模光刻机JBX-9500FS的使用方法?

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工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供日本电子日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS，日本电子JBX-9500FS产地为日本，属于进口有掩模光刻机，除了日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多有掩模光刻机,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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主营产品：

薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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