扫描型开尔文探针 功函数测试

开尔文探针系统

Kelvin Probe System

产地：英国

型号：SKP5050, KP020, UHVKP020;

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。

技术规格：

SKP5050系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：

- 探针直径：2毫米，50微米(其他尺寸可选配)；

- 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；

- 针尖到样品表面工作距离：~400纳米；

- 表面势和样品形貌3维地图；

- 探针扫描或样品扫描选配；

- 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；

- 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；

- 备用的针尖放大器；

仪器特点：

- 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；

- 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；

- 非零专利技术(Off-Null) — 信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(Null-based, LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；

- 高度调节专利技术 — 我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；

- 该领域内，拥有最好的信噪比；

- 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；

- 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；

- 所有开尔文探针参数的全数字控制；

参考用户：

吉林大学，大连理工大学，哈工大，复旦大学，浙江大学，合肥工大，华中科大，湖南大学，华南理工大学，香港科技大学，中科院理化所，中科院纳米中心，中国工程物理研究院等…