激光加热基座晶体生长炉 法国Cyberstar

激光高压光学浮区炉

激光加热基座晶体生长炉

       法国Cyberstar公司生产的激光加热基座晶体生长（Laser-heated pedestal growth, LHPG）是在提拉法晶体生长基础上发展起来的、一种以激光为热源的无坩埚单晶纤维生长工艺，因局部熔化特性，亦可称其为浮区熔化晶体生长。 

激光加热基座晶体生长炉（LHPG）具有无坩埚、无污染、温度梯度大、生长速度快、适合生长高熔点的高质量晶体等特优势。

产品特点：  

·  系统具有多束激光，激光功率根据需要可调

·  温度可以达到2800℃以上

·  晶体提拉速度、旋转速度精密可调，提拉行程140mm

·  可通氩气、氧气等各种高纯气体气氛或者混合气体气氛

·  压力可以达到1.5Bar

·  真空度可以达到1X10-4mBar

·  全过程CCD相机实时观测，非接触红外高温计实时监测温度

应用案例

钛酸锶（SrTiO3，STO）是一种应用非常广泛的衬底材料，比如：多铁或压电等应变工程薄膜材料。化学计量的STO在可见光波段是透明的，尽管方法不同，但目前如果不借助晶体生长后的退火处理步骤，仍然还不可能生长完全无色的大块STO晶体。生长后的晶体颜色一般在橙黄色到蓝紫色之间，有时甚至是黑色，关于这些颜色的成因也尚存争议。Franz Kamutzki等人通过法国Cyberstar公司的LHPG（激光基座加热法单晶炉）设备系统研究了化学计量配比、Sr过量配比、不同气氛（Ar, N2, O2, H2等）等条件下的STO单晶纤维生长实验，相关实验为系统研究STO单晶生长工艺条件和晶体颜色之间的关系具有重要意义。

以下为Franz Kamutzki等人在文章中列出的不同工艺条件下生长出的不同颜色的STO单晶。

参考文献

The influence of oxygen partial pressure in the growth atmosphere on the coloration of SrTiO 3 single crystal fibers. CrystEngComm, 2016,18, 5658-5666

发表文章

1. Up-conversion dynamics in GdAlO3:Er3+ single crystal fibre. Optical Materials，Volume 5, Issue 4, May 1996, Pages 233-238.

2. The influence of oxygen partial pressure in the growth atmosphere on the coloration of SrTiO3 single crystal fibers. CrystEngComm, 2016,18, 5658-5666.

籽晶定位单元、中频加热单 元、热场结构、软件系统、光学观测系统、真空系统、 加热元件。根据实际需求，为达到实验的要求，对仪 器的主要技术指标有：1. 能够在 2200 °C 下生长直 径为 0.5-6 mm 的稀土晶体纤维；2. 籽晶定位单元： 通过手动千分尺调节 X-Y 和 Q-J 之间的运动，X=10 mm (±5 mm)、Y=10 mm (±5 mm)、=6°(±3°)、= 6°(±3°)；3. 中频加热电源输出功率 0-20 kW、 频率 5-30 kHz；4. 软件系统实现生长全过程全自动控 制、记录移动速率和中频功率；5. 高真空度达 10-5 Bar。