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上海麦科威半导体技术有限公司

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12寸快速退火炉,The JetFirst 300

品牌： Annealsys
产地： 德国
型号： JetFirst 300
报价： ¥38万 - 60万
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核心参数

仪器种类： 高真空快速退火炉

产地类别： 进口

样品尺寸： 12寸

温度范围： 0-1200

最高升温速率： 150度/s

降温速率： 200度/S

退火温度准确性： 优于1%

退火温度均匀性： 优于1%

产品介绍

RTP-300快速退火炉为法国annealsys公司生产，分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。

技术规格：

- 最高温度：1200摄氏度；

- 升温速率：150摄氏度/秒；

- 降温速度：200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度)；

- 温控均匀性：≤ 1.5%设定温度；

- 加热方式：红外卤素灯，顶部及底部加热；

- 灯管数量及功率：18支/20千瓦(RTP-100)，24支/21千瓦(RTP-150)；

- 腔体冷却：水冷方式；

- 衬底冷却：氮气吹扫；

- 工艺气路：MFC控制，最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；

- 主机尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)，约55Kg；

 

仪器特点：

- 真空快速退火炉，有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa)；

- 可在不同气氛环境下使用，如惰性气体、氧气、氢氮混合气等；

- 控制方式：SIMATIC, SPS人机界面控制，7英寸触摸屏；

- 可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制；

- 全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置；

- 优异的温控均匀性，极佳的工艺重现性；

- 小尺寸台式设计；

 

应用领域：

- 离子注入/接触退火；

- 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；

- SiAu, SiAl, SiMo合金化；

- 低介电材料；

- 晶体化，致密化；

- 太阳能电池片键合；

等等...


参考客户：

西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。

 


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Annealsys退火炉JetFirst 300的工作原理介绍

退火炉JetFirst 300的使用方法?

AnnealsysJetFirst 300多少钱一台?

退火炉JetFirst 300可以检测什么？

退火炉JetFirst 300使用的注意事项？

AnnealsysJetFirst 300的说明书有吗？

Annealsys退火炉JetFirst 300的操作规程有吗？

Annealsys退火炉JetFirst 300报价含票含运吗？

AnnealsysJetFirst 300有现货吗？

工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供Annealsys12寸快速退火炉,The JetFirst 300，AnnealsysJetFirst 300产地为德国，属于进口退火炉，除了12寸快速退火炉,The JetFirst 300的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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主营产品：

薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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