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上海麦科威半导体技术有限公司

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当前位置： 上海麦科威 > 退火炉 > 法国Annealsys真空快速退火炉AS-ONE 150

法国Annealsys真空快速退火炉AS-ONE 150

品牌： Annealsys
产地： 法国
型号： AS-ONE 150
报价： 面议
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核心参数

仪器种类： 高真空快速退火炉

产地类别： 进口

样品尺寸： 6寸

温度范围： 1200度

最高升温速率： 160K/S

降温速率： 240K/S

退火温度准确性： 1%

退火温度均匀性： 1%

产品介绍

产地：法国AnnealSys；

型号：AS-One100/AS-One150

 

AS-ONE立式快速退火炉为法国AS公司生产，分为AS-ONE 100, 150, 200三个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火炉产品。

 

应用：

 - 快速热退火  RTA；

 - 快速热氧化 RTO；

 - 扩散，接触退火；

 - 化合物半导体退火；

 - 氮化，硅化；

 - 硒化，硫化；

 - 石墨烯沉积，碳纳米管生长；

 - 晶体化，致密化；

 

技术规格：

规格

AS-ONE 100

AS-ONE 150

最大样品基底直径

100mm (4英寸)

150mm (6英寸)

腔体尺寸

130mm直径 x 25mm

200mm直径 x 25mm

红外灯数量/最大功率

12支 / 30KW

18支 / 34KW

红外灯冷却方式

风扇

风扇

标准温度范围

室温 ~ 1250°C

室温 ~ 1200°C

选配高温版本范围

室温 ~ 1500°C

室温 ~ 1300°C

升温速度

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

温度控制

快速数字PID控制器

快速数字PID控制器

热电偶

K型

K型

高温计

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

气体注入

石英视窗以下

石英视窗以下

清洗气路

标准配置

标准配置

工艺气路方式/数量

MFC / 5路

MFC / 5路

真空获得系统

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

参考客户：

清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。


大尺寸样品快速退火炉

 

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

 

仪器特点：

  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA；

  -  可在真空、甚至于高真空环境使用；

  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；

 


售后服务
产品货期： 200天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
问商家

Annealsys退火炉AS-ONE 150的工作原理介绍

退火炉AS-ONE 150的使用方法?

AnnealsysAS-ONE 150多少钱一台?

退火炉AS-ONE 150可以检测什么？

退火炉AS-ONE 150使用的注意事项？

AnnealsysAS-ONE 150的说明书有吗？

Annealsys退火炉AS-ONE 150的操作规程有吗？

Annealsys退火炉AS-ONE 150报价含票含运吗？

AnnealsysAS-ONE 150有现货吗？

工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供法国Annealsys真空快速退火炉AS-ONE 150，AnnealsysAS-ONE 150产地为法国，属于进口退火炉，除了法国Annealsys真空快速退火炉AS-ONE 150的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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主营产品：

薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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