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应用领域
RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
结构特点
RBZ-SG系列直驱结构，承载能力大，在一个长行程的移动范围，保持尽可能低的高度，优化阿贝误差影响，有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
直驱结构
力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
光栅闭环反馈
RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈，直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式，直接测量工件移动时的误差，提高了精度性能。
规格指标
型号 | 单位 | RBZ-20SG | RBZ-35SG | RBZ-50SG | |
行程 | mm | 20 | 35 | 50 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 |
标准值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ±3.5 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±2 | ±2 | ±3 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 10 | 10 | 20 | |
最大负载 | kg | 20 | 40 | 60 | |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度5mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的指标，最大速度取决于负载大小。
订购信息
型号 | RBZ-SG | -20 | -PLUS | -5 | -DOU | -0 | -DB | -3 | -N |
描述 | 平升精密Z轴 | 行程20mm | PLUS高精度版 | 电子分辨率5nm | 增量式双光栅反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头，无线缆管理 | 线缆长度3米 | 常压环境 |
名称 | 型号 | 描述 |
精密Z轴 | RBZ | 平升精密Z轴 |
行程 | -20SG -35SG -50SG | 行程20mm 行程35mm 行程50mm |
精度等级 | -N -PLUS | 标准值 PLUS高精度版 |
电子分辨率 | -N -0.3 -5 | 默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
反馈方式 | -1 -T -DOU -ABS | 增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 增量式双光栅反馈 绝对式光栅反馈 |
零点位置 | -U -0 -D | 零点在行程上极限位置 零点在行程中心位置（标配） 零点在行程下极限位置 |
线缆管理 | -DB -C4 | DB接头，无线缆管理（标配） 真空线缆 |
线缆长度 | -3 -5 -DZ | 长度3米（标配） 长度5米 定制 |
气压环境 | -N -VC | 常压环境（标配） 真空环境 |
企业名称
北京瑞邦精控科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110113MA01KM410N
成立日期
2019-06-06
注册资本
300万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术服务、技术咨询;软件开发;应用软件服务;计算机系统集成服务;基础软件服务;销售机械设备、电子元器件、仪器仪表、金属制品、通讯设备、金属材料(不含电石、铁合金)、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金交电(不含电动自行车)，制造其他传动部件、工业自动控制系统装置。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
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