应用领域
QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台,用于飞秒激光加工,超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业,由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构特点
双轴气浮运动台采用开式气浮导轨,直线电机和光栅尺组成,永磁预载结构,XY轴叠层具有体积小,精度高、工作点低等特点,能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽,作为底轴,整体性能更稳定。非接触式气浮结构,免维护运行,随着时间推移,不会出现磨损或性能下降。
精度性能
QFL-XY轴双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec,以上为全行程精度指标,由于非接触式运动结构,气浮运动台的跟随误差有了质地提升,精度性能得到显著提高。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外,可提供带屏蔽高柔线缆,提供系统抗干扰能力。
定制化
根据应用,结构可定制化设计,如增加平升或楔形Z轴,转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁,XY轴安装到大理石基座上,Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统,适合高抖动的应用领域。
规格指标
型号 | 单位 | QFL-50XY | QFL-100XY | QFL-150XY | ||||
轴系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 50 | 50 | 100 | 100 | 150 | 150 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | |||
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |||
标准值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 5 | 2 | 2 | |||
标准值 | 10 | 5 | 5 | |||||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(选配) | ||||||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 200 | ||||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 1,(5 定制) | ||||||
最大负载 | kg | 10 | ||||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨不建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。
订购信息
型号 | QFL | -100XY | -PLUS | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
描述 | 开式气浮运动台 | X轴行程100mm;Y轴行程100mm | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 带屏蔽排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 | 有压力保护开关 |
名称 | 型号 | 描述 |
多轴气浮运动台 | QFL | 开式气浮运动台 |
行程 | -50XY -100XY -150XY | X轴行程50mm;Y轴行程50mm X轴行程100mm;Y轴行程100mm X轴行程150mm;Y轴行程150mm |
精度等级 | -N -PLUS | 标准值 PLUS高精度版 |
电子分辨率 | -N -0.3 -5 | 默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
反馈方式 | -1 -T -ABS | 增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 绝对式光栅反馈 |
零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
线缆长度 | -3 -5 -DZ | 长度3米(标配) 长度5米 定制 |
大理石基座 | -Y -N | 有大理石基座 无大理石基座(标配) |
压力保护开关 | -Y -N | 有压力保护开关(标配) 无压力保护开关 |
企业名称
北京瑞邦精控科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110113MA01KM410N
成立日期
2019-06-06
注册资本
300万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术服务、技术咨询;软件开发;应用软件服务;计算机系统集成服务;基础软件服务;销售机械设备、电子元器件、仪器仪表、金属制品、通讯设备、金属材料(不含电石、铁合金)、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金交电(不含电动自行车),制造其他传动部件、工业自动控制系统装置。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)