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产地类别: 国产
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ACA Master无掩膜光刻机是一款高精度、高效率的光刻设备,其主要亮点如下:
1. 特征尺寸0.4μm:ACA Master无掩膜光刻机采用了先进的曝光技术,实现了0.4μm的超高精度特征尺寸,为半导体、MEMS、生物芯片等领域的研究和生产提供了强大的支持。
2. 6英寸光刻面积:该设备支持6英寸晶圆的全面积光刻,适用于多种尺寸和形状的基板,具有较高的通用性。
3. 扫描光刻/步进光刻可切换:ACA Master无掩膜光刻机具备扫描光刻和步进光刻两种模式,可根据实际需求进行切换。扫描光刻模式适用于大面积、高效率的生产;步进光刻模式则适用于小面积、高精度的研究。
4. 无掩膜光刻技术:与传统光刻机相比,ACA Master无掩膜光刻机摒弃了掩膜板,直接在基板上进行曝光。无掩膜光刻技术省去了掩膜板制作环节,降低了生产成本,缩短了研发周期。无掩膜光刻机可根据设计图案实时调整曝光参数,实现快速迭代和优化。无掩膜光刻技术可实现任意形状的图案曝光,适用于复杂结构的研究和生产。
ACA Master无掩膜光刻机采用模块化设计,集成了曝光、对位、检测等多个功能,占地面积小,操作简便。设备具备完善的自动化控制系统,可实现对曝光参数、对位精度等关键指标的实时监控和调整,降低人工干预,提高生产效率。ACA Master无掩膜光刻机支持多种类型的基板和光刻胶,适用于不同领域的研究和生产需求。设备采用节能型光源和优化设计,降低了能耗,减少了对环境的影响。
ACA Master无掩膜光刻机凭借其优异的性能和广泛的应用前景,为我国半导体、MEMS、生物芯片等领域的发展提供了有力支持。
企业名称
托托科技(苏州)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91320594MA1MQNFL01
成立日期
2016-08-01
注册资本
1000万元整
经营范围
研发、销售、生产和维护:光学设备、机电设备、电子产品及配件、信息采集设备、信息处理设备、信息传输设备;提供软件系统的研发、集成、数据分析服务,并提供相关技术转让、技术咨询、技术服务;从事上述各类商品及技术的进出口业务.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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