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南通宏腾微电子技术有限公司

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当前位置： 宏腾微电子设备 > 匀胶机 > POLOS (SPS)旋涂仪 SPIN150i

POLOS (SPS)旋涂仪 SPIN150i

品牌： POLOS
产地： 德国
型号： SPIN150i
报价： ¥6万

核心参数

产地类别： 进口

旋转速度： 5000

基片直径： 6inch

产品介绍

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SPS 旋涂仪 SPIN150i

1、结构：
   * NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构）为整个系统提供更好的刚性和韧性
   *高品质无缝制造表面，全工程塑料
   *适用于通风柜和杂物箱
   *最大处理室直径：202毫米

   *尺寸（台式版）：27.5 x 45.0 x 25.0厘米（宽x深x高）

2、数字电机控制：
    *具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈
    *提供高精度的转速（±0.1 rpm）和宽范围的转速（1至12,000 rpm），这是传统PID电机控制器无法实现的

    *允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验，系统高速运行时更稳定，振动更少

3、透明盖：
   淬火的透明玻璃瓶盖，带有注射器支架和N2扩散器，可在处理过程中进行N2吹扫
  *注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质
  *控制室环境对于恒定的过程结果至关重要
  *坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持在最佳状态，以便轻松搬运和卸下基板；同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口
   *透明盖清晰可见内部

   *可手动分配

4、安全联锁：
    *Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开
    *电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转
    *防止伤害使用者并避免基材破裂

    *具有国际CE标志和过载保护的电气安全

5、连接：
  *三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件。
  *多种夹头可供选择，用于直径最大为160 mm的不同尺寸的基板
  *制氮过程中的氮气扩散器
6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸触摸屏，手套防护，IP 52，耐化学腐蚀
7、彩色触摸屏显示：可轻松编程速度，加速度和时间
8、无限程序存储：可用于多个步骤的配方，每个配方均适用于：
          *时间：0.1至99999秒/步
          *速度：0至12,000 rpm
          *旋转方向：顺时针，逆时针，搅动
          *加速/减速：1至30,000 rpm / sec（每步可选）
          *真空开/关
          *3个可编程的干触点：例如用于分配单元，氮气扩散器等的自动控制
9、USB端口：可轻松上传和下载配方以及更新软件版本
10、存储：结构化和受密码保护的方案存储，可轻松安全地进行管理




型号                

SPIN150i                

SPIN200i                

POLOS300                

POLOS450                

POLOS600                

基片范围                

直径160mm                 

或者 4英寸方片                

直径260mm                 

或者 6英寸方片                

直径360mm                 

或者 8英寸方片                

直径

460mm               

或者 12英寸方片                 

直径600mm                 

或者 超大方片                

程序段数                

无限制                

无限制                

无限制                

无限制                

0个程序                

操作步数                

90个步骤                

旋转速度                

0-12,000 rpm ±1rpm steps                

0-1500rpm ±1rpm steps                

旋转精度                

±0.1 rpm                

旋转方向                

顺时针、逆时针、交换摆                

加速度                

30,000 rpm/sec                

≤1500rpm时取决于负载              

500 rpm/sec                

旋转时间                

无限制*,± 0.1 seconds steps                

1 to 999 sec/step                

腔体直径                

202 mm                

302 mm                

402 mm                

502 mm                

642mm                

触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                


售后服务
产品货期： 200天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
工商信息

企业名称

南通宏腾微电子技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91320602MACC00FA7D

成立日期

2023-03-17

注册资本

100万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

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公司地址

江苏南通越江路88号

客服电话

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