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核心参数
产地类别: 进口
旋转速度: 5000
基片直径: 6inch
1、结构: * NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蚀结构)为整个系统提供更好的刚性和韧性 *高品质无缝制造表面,全工程塑料 *适用于通风柜和杂物箱 *最大处理室直径:202毫米
2、数字电机控制: *具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈 *提供高精度的转速(±0.1 rpm)和宽范围的转速(1至12,000 rpm),这是传统PID电机控制器无法实现的
3、透明盖: 淬火的透明玻璃瓶盖,带有注射器支架和N2扩散器,可在处理过程中进行N2吹扫 *注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质 *控制室环境对于恒定的过程结果至关重要 *坚固的自弹式盖铰链,可自动将盖保持在最佳状态,以便轻松搬运和卸下基板;同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口 *透明盖清晰可见内部
4、安全联锁: *Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定,并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开 *电磁盖联锁在打开时停止旋转,而真空联锁(可编程)在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转 *防止伤害使用者并避免基材破裂
5、连接: *三个可编程继电器输出,可用于操作自动分配系统,外部阀或其他附件。 *多种夹头可供选择,用于直径最大为160 mm的不同尺寸的基板 *制氮过程中的氮气扩散器6、可拆卸控制器:可拆卸的全尺寸触摸屏,手套防护,IP 52,耐化学腐蚀7、彩色触摸屏显示:可轻松编程速度,加速度和时间8、无限程序存储:可用于多个步骤的配方,每个配方均适用于: *时间:0.1至99999秒/步 *速度:0至12,000 rpm *旋转方向:顺时针,逆时针,搅动 *加速/减速:1至30,000 rpm / sec(每步可选) *真空开/关 *3个可编程的干触点:例如用于分配单元,氮气扩散器等的自动控制9、USB端口:可轻松上传和下载配方以及更新软件版本10、存储:结构化和受密码保护的方案存储,可轻松安全地进行管理
型号
SPIN150i
SPIN200i
POLOS300
POLOS450
POLOS600
基片范围
直径160mm
或者 4英寸方片
直径260mm
或者 6英寸方片
直径360mm
或者 8英寸方片
直径
460mm
或者 12英寸方片
直径600mm
或者 超大方片
程序段数
无限制
0个程序
操作步数
90个步骤
旋转速度
0-12,000 rpm ±1rpm steps
0-1500rpm ±1rpm steps
旋转精度
±0.1 rpm
旋转方向
顺时针、逆时针、交换摆
加速度
30,000 rpm/sec
≤1500rpm时取决于负载
500 rpm/sec
旋转时间
无限制*,± 0.1 seconds steps
1 to 999 sec/step
腔体直径
202 mm
302 mm
402 mm
502 mm
642mm
触屏控制
全彩触屏控制
企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司地址
江苏南通越江路88号
客服电话
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公司名称: 南通宏腾微电子技术有限公司
公司地址: 江苏南通越江路88号 联系人: harvey 邮编: 226406 联系电话: 400-860-5168转6134
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