小型蒸镀仪

一、技术原理：  

（1）小型蒸镀仪KT-Z1650CVD，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。  

（2）通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。  

二、真空度越高越不易氧化越接近金属本色：  

★玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；  

★复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；

★两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；

★专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；  

★可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；  

★衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；  

★可调速旋转靶台使薄膜更均匀；  

★可沉积金属（Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等）、非金属、化合物（MoO3,LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；  

★7寸显示器定时定点调节电流，达到控制功率效果；  

★具有记忆储存功能，直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果；  

★配置了靶台挡板，可手动调节或自动调节挡板，及时遮挡样品，保证样品效果；

三、技术支持&服务：  

1.技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出*的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。

2.安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。  

3.产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）  

4.终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。

以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

   原样品没有镀膜                         115A 100秒 机械泵

115A 100秒 分子泵抽12分钟      115A 120秒 分子泵抽20分钟

四、小型蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料：