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核心参数
产地类别： 国产
靶材材质： 金属
靶材尺寸： 50mm
控制方式： 手动/自动
样品仓尺寸： φ160x160mm
样品台尺寸： φ50mm
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一、公司背景介绍：
（1）郑州科探仪器设备是高质量定制物理气相沉积（PVD）系统的设计者和制造商，客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下，高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。
（2）郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心，并得到了很好的参考和反馈。
二、仪器描述：小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au/Pd）的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。
三、产品特点：
彩色触摸屏：数据输入简单快速。
通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。
可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构。
可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射。
样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。
标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。
四、小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数：
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
企业名称
郑州科探仪器设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(然人独资)
信用代码
91410102358043099C
成立日期
2015-09-01
注册资本
伍拾壹万圆整
经营范围
销售:仪器仪表，电子元器件，高低压成套设备,机电设备，阀门，五金交电，管件;实验室设备的安装;机电设备安装工程(凭有效资质证经营);实验室设备及配件的技术开发;软件开发;自动化控制设备的的技术开发;从事货物和技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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