晶圆全自动裂片机
产品介绍:
1)广角轮廓相机,进行轮廓识别,自动校正硅片角度;
2)高精度CCD相机,进行全自动水平修正及位置修正;
3)压力可控,实时显示压力数值;
4)自动覆膜、喷液、放片;
5)带连片检测功能,无连片;
6)可兼容4英寸、5英寸的晶圆片;
7)全自动上下料功能,无人值守式全自动运行(料盒方式,整盒上下料),产品批量化生产。
技术参数:
设备型号 MSW-WSU-A
控制方式 PLC+触摸屏+电脑主机
对位方式 相机识别自动对位
传送方式 伺服电机
裂片力度 压力传感器(压力大小可调)
喷液喷头 雾状喷头
故障处理 各个故障都带报警提示功能
端口 预留MES端口
加工定位方式 自动上下料&自动对位
效率(裂片) >120片/h
应用范围:
适用于半导体产业中的GPP晶圆的裂片。
企业名称
首昂光电(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310120MA1HYMDD98
成立日期
2020-10-29
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
一般项目:光电子器件销售;电子产品销售;工业自动控制系统装置销售;半导体器件专用设备销售;电气机械设备销售;仪器仪表销售;计算机软硬件及辅助设备批发;半导体照明器件销售;电气设备销售;电工仪器仪表销售;智能仪器仪表销售;五金产品批发;五金产品零售;电气设备修理;半导体器件专用设备制造;工业自动控制系统装置制造;机械电气设备制造;光电子器件制造;电子元器件制造;半导体照明器件制造;电子专用材料制造;机械零件、零部件加工;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)