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Avantgarde 室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。
PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。
特点
• 样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试 和换样更加便捷。
• 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到最大8英寸样品的任意位置
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线
• 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电
• 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动
• 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上
• 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm样品
型号分类：
| 型号 | PSPM-2 | PSPM-4 | PSPM-6 | PSPM-8 |
| 样品座尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
参数和指标：
| 样品座 | |
| 卡盘尺寸： | 2/4/6/8英寸，可定制 |
| 材质： | 无氧铜镀金 |
| 样品固定方式： | 多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道 |
| 滑台 | |
| X-Y移动行程： | 2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm |
| 读数精度： | 10μm |
| 探针臂 | |
| X-Y-Z移动行程： | X-13mm，Y-13mm，Z-13mm |
| 旋转度： | 360度自由旋转 |
| 移动精度： | 10μm |
| 探针臂数量： | 可安装6个探针臂（左右两边各3个） |
| 电学线缆： | 三同轴线缆 |
| 漏电流： | 100fA |
| 探针类型： | 直流探针 |
| 光学系统 | |
| 显微镜放大倍数： | 10-180倍 |
| 显微镜工作距离： | 90-100mm |
| CCD相机分辨率： | 3800万像素 |
| 永磁铁组件 | |
| 磁场大小： | 0.5T |
| 磁铁间距： | 30mm |
| 磁铁极面尺寸： | 50mm |
| 可加选件 | |
| 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤 | |
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企业名称
上海胤企制冷设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310116570840458N
成立日期
2011-03-31
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
泵阀,有色金属制品,建筑装潢材料,计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品),机电设备,五金交电,电子产品,矿产品(除国家专控),机械设备及配件,不锈钢制品,管道配件.橡塑制品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),消防器材,船舶配件,仪器仪表,电子元器件,办公用品,机械设备销售,从事货物进出口及技术进出口业务,水电安装,建筑工程;市政工程,国内货物运输代理.园林绿化养护服务,商务咨询(除经纪),从事机电设备(除特种设备)科技领域内技术开发,技术咨询、技术服务,机电设备安装维修(除特种设备)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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