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Avantgarde紧凑型室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下超小芯片晶圆和器件的非破坏性测试。
SPSM系列紧凑型室温手动探针台是一款经济实惠、入门级的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。紧凑的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。
特点
• 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品
• 样品座下方位移座可实现样品座三维精细位移调节使得样品测试和换样更加便捷。
• 最多可安装6个探针臂
• 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内
• CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm
型号分类：
| 型号 | 样品座尺寸 |
| SPSM-2 | 2英寸 |
| SPSM-4 | 4英寸 |
参数和指标：
| 样品座 | |
| 卡盘尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材质： | 无氧铜镀金 |
| 样品固定方式： | 多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道 |
| 位移行程： | X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm |
| 读数精度： | 10μm |
| 探针臂 | |
| 固定方式： | 磁铁吸附 |
| XYZ微调移动行程： | XYZ-13mm |
| 读数精度： | 10μm |
| 探针臂数量： | 可安装6个探针臂（左右各3个） |
| 电学线缆： | 三同轴线缆 |
| 漏电流： | 100fA |
| 探针类型： | 直流探针 |
| 光学系统 | |
| 显微镜放大倍数： | 50-1000倍 |
| 显微镜工作距离： | 90-100mm |
| 显微镜分辨率： | 最小可识别3μm |
| 可加选件 | |
| 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤 | |
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企业名称
上海胤企制冷设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310116570840458N
成立日期
2011-03-31
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
泵阀,有色金属制品,建筑装潢材料,计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品),机电设备,五金交电,电子产品,矿产品(除国家专控),机械设备及配件,不锈钢制品,管道配件.橡塑制品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),消防器材,船舶配件,仪器仪表,电子元器件,办公用品,机械设备销售,从事货物进出口及技术进出口业务,水电安装,建筑工程;市政工程,国内货物运输代理.园林绿化养护服务,商务咨询(除经纪),从事机电设备(除特种设备)科技领域内技术开发,技术咨询、技术服务,机电设备安装维修(除特种设备)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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