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核心参数
磁体类型： 电磁铁性
产地类别： 国产
其它参数
晶圆级垂直磁光克尔测量仪
样品尺寸:最大支持12 英寸及以下晶圆碎片测试:
磁场:最大垂直磁场优于2.5T,磁场分辨率1 μT;
磁性检测灵敏度:克尔转角检出度优于0.3mdeg(RMS)，适用多层膜堆的磁性表征;
样品重复定位精度:优于1um,静态抖动<0.25 um。
晶圆级面内磁光克尔测量仪
样品尺寸:最大支持12 英寸及以下晶圆碎片测试，
磁场:最大面内磁场优于1.4T,磁场分辨率1 μT;
磁性检测灵敏度:克尔转角检出度优于0.3mdeg(RMS),适用多层膜堆的磁性表征;
样品重复定位精度:优于1 um,静态抖动<0.25 um;样品360°任意角度旋转。
功能及应用场景
垂直/面内MRAM磁性存储器、磁传感器膜堆的磁滞回线测量;自动提取磁滞回线信息,，如自由层和钉扎层Hc、Hex、Ms等;·可自动进行连续逐点扫描，生成晶圆磁特性分布图;系统预置多点扫描模式:单点、阵列、径向分布,自定义位置列表;系统提供手动加载或全自动操作方式,满足研发/生产需求。
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企业名称
致真精密仪器（青岛）有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他有限责任公司
信用代码
91370212MA3Q9KK07F
成立日期
2019-07-26
注册资本
伍仟叁佰玖拾壹万肆仟柒佰陆拾陆元捌角整
经营范围
测试测量仪器、光学仪器、微电子设备、教学仪器设备、实验仪器及相关零部件的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务、安装、销售、维修(依据质监部门核发的许可证开展经营活动);微电子器件、芯片、传感器、微机电产品、集成电路、电子产品、机电产品的开发、测试和技术服务;软件开发,货物及技术进出口(法律行政法规禁止类项目除外,法律行政法规限制类项目待取得许可后经营).(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
致真精密仪器（青岛）有限公司
公司地址
山东省青岛市崂山区松岭路393号
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