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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

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激光直写光刻机

品牌：苏大维格

产地：江苏

型号： MiScan

样本：下载

报价：面议

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核心参数

曝光模式：投影式

产地类别：国产

分辨率： 0.5um

光源： LD405,3.6W;DPSSL 355nm，10W;DPSSL 355NM,10W（选配）

光源波长： 355nm

光强均匀性： N/A

曝光面积： 250mmX250mm

展位推荐

苏大维格激光直写光刻机

产品介绍

其它参数

图形发生器：0.95英寸，1920X1080

运动平台：300mmX300mm

灰度等级：1024阶

最小结构尺寸：0.5um

对准精度：±0.5um

基板厚度：0-15mm

背对准系统：选配

干涉模式：选配

尺寸：1540mmX1120mmX1900mm

重量、功率：1750kg；1500w

MiScan

型号：MiScan-200/MiScan-200UV/MiScan-Pro

核心参数

曝光模式：扫描式曝光

产地类别：中国

光源：355 nm/LD405/LED405（选配）

运动平台：直线电机150mmX150mm/直线电机气浮结构：300mmX300mm

图形发生器：0.95英寸（1920X1080）

环控系统：0.1℃，百级净化

灰度等级：1024阶

幅面尺寸：10”基底

数据分辨率：0.5um/0.25um/0.1um

套刻对准精度:±0.5um

背对准系统：选配

*规格参数因具体工艺差异有所不同

售后服务

产品货期： 240天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

安装调试时间：到货后7天内

电话支持响应时间： 24小时内

是否提供维保合同：是

维修响应时间： 3天内

节假日是否提供上门服务：是

是否支持上门巡检：是

是否提供预防性维护计划：是

是否提供期间核查方案：否

是否提供免费应用支持：是

是否提供付费应用支持：否

是否提供线上售后平台：是

维修付款方式：先付款后维修

无理由退换货：不支持

问商家

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工商信息

企业名称

苏州苏大维格科技集团股份有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

913200007325123786

成立日期

2001-10-25

注册资本

22604

经营范围

数码光学技术产品的研发，制造，生产激光全息制品，激光立体照排系统，激光包装材料生产线，包装材料，防伪技术产品，自动化控制，光学元器件，光学仪器

联系方式

苏州苏大维格科技集团股份有限公司

公司地址

苏州工业园区新昌路

客服电话

400-860-5168转6167

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