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核心参数
曝光模式： 投影式
产地类别： 国产
分辨率： 0.5um
光源： LED405nm，960mw；LD405nm，100mw；DPSSL 355nm，800mw（选配）
曝光面积： 150mmX150mm（选配）
Microlab
型号：Microlab-1/Microlab-2/Microlab-3/Microlab-4/Microlab-5
核心参数
曝光模式：步进式曝光、扫描式曝光
产地类别：中国
光源：355 nm/LD405/LED405（选配）
运动平台：直线电机150mmX150mm
图形发生器：0.55英寸（1024X768）/0.95英寸（1920X1080）推荐
幅面尺寸：4-6英寸基板
数据分辨率：0.5um/0.25um/0.1um
套刻对准精度:±0.5um
*规格参数因具体工艺差异有所不同
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企业名称
苏州苏大维格科技集团股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
913200007325123786
成立日期
2001-10-25
注册资本
22604
经营范围
数码光学技术产品的研发，制造，生产激光全息制品，激光立体照排系统，激光包装材料生产线，包装材料，防伪技术产品，自动化控制，光学元器件，光学仪器
苏州苏大维格科技集团股份有限公司
公司地址
苏州工业园区新昌路
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